等离子体处理装置以及等离子体处理方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN200810186165.7

申请日：

2008-12-19

公开(公告)号：

CN101465283A

公开(公告)日：

2009-06-24

发明(设计)人：

齐藤均佐藤亮

申请人：

申请人地址：

日本东京都

IPC主分类号：

H01L2100

IPC分类号：

H01L21311 H01J3732 H05H146

代理机构：

北京尚诚知识产权代理有限公司

代理人：

龙淳

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2009-08-19	实质审查的生效	实质审查的生效
2009-06-24	公开	公开
2012-04-25	授权	授权

共 50 条

[1]

等离子体处理装置以及等离子体处理方法 [P].

齐藤均 ;

佐藤亮 .

中国专利 :CN101969016A ,2011-02-09

[2]

等离子体处理装置和等离子体处理方法 [P].

进藤崇央 ;

冈本清一 ;

大友洋 ;

菊地贵伦 ;

松土龙夫 ;

森田靖 ;

佐久间隆 .

中国专利 :CN113936985A ,2022-01-14

[3]

等离子体处理装置和等离子体处理方法 [P].

进藤崇央 ;

冈本清一 ;

大友洋 ;

菊地贵伦 ;

松土龙夫 ;

森田靖 ;

佐久间隆 .

日本专利 :CN113936985B ,2025-03-11

[4]

等离子体处理方法以及等离子体处理装置 [P].

箕浦佑也 .

中国专利 :CN113964010A ,2022-01-21

[5]

等离子体处理装置和等离子体处理方法 [P].

舆水地盐 ;

山泽阳平 .

中国专利 :CN102522304A ,2012-06-27

[6]

等离子体处理装置和等离子体处理方法 [P].

松本直树 ;

舆水地盐 ;

舆石公 .

中国专利 :CN100446637C ,2006-10-04

[7]

等离子体处理装置和等离子体处理方法 [P].

丸山幸儿 ;

堀口将人 ;

松木哲理 ;

舆石公 .

中国专利 :CN105379428B ,2016-03-02

[8]

等离子体处理装置和等离子体处理方法 [P].

舆水地盐 ;

山泽阳平 .

中国专利 :CN101847558B ,2010-09-29

[9]

等离子体处理方法和等离子体处理装置 [P].

高山航 ;

近江宗行 ;

伊深怜 ;

五十岚大 ;

铃木贵幸 ;

村上贵宏 .

中国专利 :CN110246739A ,2019-09-17

[10]

等离子体处理方法和等离子体处理装置 [P].

高山航 ;

近江宗行 ;

伊深怜 ;

五十岚大 ;

铃木贵幸 ;

村上贵宏 .

日本专利 :CN110246739B ,2024-07-02

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