等离子体处理装置和等离子体处理方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN200610067101.6

申请日：

2006-03-31

公开(公告)号：

CN100446637C

公开(公告)日：

2006-10-04

发明(设计)人：

松本直树舆水地盐舆石公

申请人：

申请人地址：

日本国东京都

IPC主分类号：

H05H146

IPC分类号：

H01J3732 H01L213065

代理机构：

北京纪凯知识产权代理有限公司

代理人：

龙淳

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2008-12-24	授权	授权
2006-12-06	实质审查的生效	实质审查的生效
2006-10-04	公开	公开

共 50 条

[1]

等离子体处理装置和等离子体处理方法 [P].

舆水地盐 ;

山泽阳平 .

中国专利 :CN102522304A ,2012-06-27

[2]

等离子体处理装置和等离子体处理方法 [P].

舆水地盐 ;

山泽阳平 .

中国专利 :CN101847558B ,2010-09-29

[3]

等离子体处理装置和等离子体处理方法 [P].

进藤崇央 ;

冈本清一 ;

大友洋 ;

菊地贵伦 ;

松土龙夫 ;

森田靖 ;

佐久间隆 .

中国专利 :CN113936985A ,2022-01-14

[4]

等离子体处理装置和等离子体处理方法 [P].

进藤崇央 ;

冈本清一 ;

大友洋 ;

菊地贵伦 ;

松土龙夫 ;

森田靖 ;

佐久间隆 .

日本专利 :CN113936985B ,2025-03-11

[5]

等离子体处理方法和等离子体处理装置 [P].

永海幸一 ;

大下辰郎 ;

永关一也 ;

桧森慎司 .

中国专利 :CN110416075A ,2019-11-05

[6]

等离子体处理方法和等离子体处理装置 [P].

永海幸一 ;

大下辰郎 ;

永关一也 ;

桧森慎司 .

日本专利 :CN110416075B ,2024-03-29

[7]

等离子体处理方法和等离子体处理装置 [P].

李诚泰 ;

土桥和也 .

中国专利 :CN102347231B ,2012-02-08

[8]

等离子体处理装置和等离子体处理方法 [P].

东条利洋 ;

藤井祐希 .

中国专利 :CN107275179A ,2017-10-20

[9]

等离子体处理装置和等离子体处理方法 [P].

岩田学 ;

中山博之 ;

增泽健二 ;

本田昌伸 .

中国专利 :CN101515545B ,2009-08-26

[10]

等离子体处理方法和等离子体处理装置 [P].

永海幸一 ;

藤原一延 ;

大下辰郎 ;

道菅隆 ;

丸山幸儿 ;

永关一也 ;

桧森慎司 .

中国专利 :CN113451101A ,2021-09-28

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