等离子体处理方法和等离子体处理装置

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201910332423.6

申请日：

2019-04-24

公开(公告)号：

CN110416075A

公开(公告)日：

2019-11-05

发明(设计)人：

永海幸一大下辰郎永关一也桧森慎司

申请人：

申请人地址：

日本东京都

IPC主分类号：

H01L213065

IPC分类号：

H01J3732

代理机构：

北京尚诚知识产权代理有限公司 11322

代理人：

龙淳

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2021-02-12	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 21/3065 申请日:20190424
2019-11-05	公开	公开

共 50 条

[1]

等离子体处理装置和等离子体处理方法 [P].

松本直树 ;

舆水地盐 ;

舆石公 .

中国专利 :CN100446637C ,2006-10-04

[2]

等离子体处理方法和等离子体处理装置 [P].

永海幸一 ;

大下辰郎 ;

永关一也 ;

桧森慎司 .

日本专利 :CN110416075B ,2024-03-29

[3]

等离子体处理装置和等离子体处理方法 [P].

舆水地盐 ;

山泽阳平 .

中国专利 :CN102522304A ,2012-06-27

[4]

等离子体处理装置和等离子体处理方法 [P].

岩田学 ;

中山博之 ;

增泽健二 ;

本田昌伸 .

中国专利 :CN101515545B ,2009-08-26

[5]

等离子体处理方法和等离子体处理装置 [P].

永海幸一 ;

藤原一延 ;

大下辰郎 ;

道菅隆 ;

丸山幸儿 ;

永关一也 ;

桧森慎司 .

中国专利 :CN113451101A ,2021-09-28

[6]

等离子体处理方法和等离子体处理装置 [P].

大矢欣伸 ;

田边明良 ;

安田吉纪 .

中国专利 :CN104599930A ,2015-05-06

[7]

等离子体处理装置和等离子体处理方法 [P].

舆水地盐 ;

山泽阳平 .

中国专利 :CN101847558B ,2010-09-29

[8]

等离子体处理装置和等离子体处理方法 [P].

进藤崇央 ;

冈本清一 ;

大友洋 ;

菊地贵伦 ;

松土龙夫 ;

森田靖 ;

佐久间隆 .

中国专利 :CN113936985A ,2022-01-14

[9]

等离子体处理装置和等离子体处理方法 [P].

松本直树 ;

早川欣延 ;

花冈秀敏 ;

儿玉法明 ;

舆水地盐 ;

岩田学 ;

田中谕志 .

中国专利 :CN101047113A ,2007-10-03

[10]

等离子体处理装置和等离子体处理方法 [P].

进藤崇央 ;

冈本清一 ;

大友洋 ;

菊地贵伦 ;

松土龙夫 ;

森田靖 ;

佐久间隆 .

日本专利 :CN113936985B ,2025-03-11

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