等离子体处理方法和等离子体处理装置

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201410820278.3

申请日：

2011-08-23

公开(公告)号：

CN104599930A

公开(公告)日：

2015-05-06

发明(设计)人：

大矢欣伸田边明良安田吉纪

申请人：

申请人地址：

日本东京都

IPC主分类号：

H01J3732

IPC分类号：

代理机构：

北京尚诚知识产权代理有限公司 11322

代理人：

龙淳

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2015-05-06	公开	公开
2017-04-12	授权	授权
2015-05-27	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101611569147 IPC(主分类):H01J 37/32 专利申请号:2014108202783 申请日:20110823

共 50 条

[1]

等离子体处理方法和等离子体处理装置 [P].

大矢欣伸 ;

田边明良 ;

安田吉纪 .

中国专利 :CN102376559A ,2012-03-14

[2]

等离子体处理装置和等离子体处理方法 [P].

山泽阳平 ;

舆水地盐 ;

齐藤昌司 ;

传宝一树 ;

山涌纯 .

中国专利 :CN102157325B ,2011-08-17

[3]

等离子体处理装置和等离子体处理方法 [P].

松本直树 ;

早川欣延 ;

花冈秀敏 ;

儿玉法明 ;

舆水地盐 ;

岩田学 ;

田中谕志 .

中国专利 :CN101047113A ,2007-10-03

[4]

等离子体处理装置和等离子体处理方法 [P].

山泽阳平 ;

舆水地盐 ;

齐藤昌司 ;

传宝一树 ;

山涌纯 .

中国专利 :CN104768317A ,2015-07-08

[5]

等离子体处理方法及等离子体处理装置 [P].

进藤俊彦 ;

冈本晋 ;

樋口公博 .

中国专利 :CN100414672C ,2005-10-05

[6]

等离子体处理装置 [P].

松土龙夫 ;

桧森慎司 .

中国专利 :CN101540277A ,2009-09-23

[7]

等离子体处理方法和等离子体处理装置 [P].

岸宏树 ;

徐智洙 .

中国专利 :CN106920733B ,2017-07-04

[8]

等离子体处理装置和等离子体处理方法 [P].

舆水地盐 ;

山泽阳平 .

中国专利 :CN102522304A ,2012-06-27

[9]

等离子体处理方法和等离子体处理装置 [P].

星直嗣 ;

大石哲也 ;

东堤慎司 .

中国专利 :CN109216182A ,2019-01-15

[10]

等离子体处理装置和等离子体处理方法 [P].

舆水地盐 ;

山泽阳平 .

中国专利 :CN101847558B ,2010-09-29

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