等离子体处理方法和等离子体处理装置

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201810696017.3

申请日：

2018-06-29

公开(公告)号：

CN109216182A

公开(公告)日：

2019-01-15

发明(设计)人：

星直嗣大石哲也东堤慎司

申请人：

申请人地址：

日本东京都

IPC主分类号：

H01L213065

IPC分类号：

H01J3732

代理机构：

北京尚诚知识产权代理有限公司 11322

代理人：

龙淳;徐飞跃

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2019-02-12	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 21/3065 申请日:20180629
2019-01-15	公开	公开

共 50 条

[1]

等离子体处理方法和等离子体处理装置 [P].

岸宏树 ;

徐智洙 .

中国专利 :CN106920733B ,2017-07-04

[2]

等离子体处理方法和等离子体处理装置 [P].

大矢欣伸 ;

田边明良 ;

安田吉纪 .

中国专利 :CN104599930A ,2015-05-06

[3]

等离子体处理装置和等离子体处理方法 [P].

山泽阳平 ;

舆水地盐 ;

齐藤昌司 ;

传宝一树 ;

山涌纯 .

中国专利 :CN102157325B ,2011-08-17

[4]

等离子体处理装置和等离子体处理方法 [P].

山泽阳平 ;

舆水地盐 ;

传宝一树 ;

山涌纯 ;

齐藤昌司 .

中国专利 :CN102056395A ,2011-05-11

[5]

等离子体处理方法和等离子体处理装置 [P].

大矢欣伸 ;

田边明良 ;

安田吉纪 .

中国专利 :CN102376559A ,2012-03-14

[6]

等离子体处理装置和等离子体处理方法 [P].

山泽阳平 ;

舆水地盐 ;

齐藤昌司 ;

传宝一树 ;

山涌纯 .

中国专利 :CN104768317A ,2015-07-08

[7]

等离子体处理方法和等离子体处理装置 [P].

原田彰俊 ;

林彦廷 ;

陈智轩 ;

谢如嘉 ;

米田滋 .

中国专利 :CN104603917B ,2015-05-06

[8]

等离子体处理装置以及等离子体处理方法 [P].

山泽阳平 ;

舆水地盐 ;

齐藤昌司 ;

传宝一树 ;

山涌纯 ;

饭塚八城 .

中国专利 :CN102054649A ,2011-05-11

[9]

等离子体处理方法以及等离子体处理装置 [P].

小林保男 ;

川村刚平 .

中国专利 :CN100508134C ,2006-12-20

[10]

等离子体处理方法及等离子体处理装置 [P].

进藤俊彦 ;

冈本晋 ;

樋口公博 .

中国专利 :CN100414672C ,2005-10-05

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