等离子体处理方法和等离子体处理装置

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201380045527.X

申请日：

2013-08-27

公开(公告)号：

CN104603917B

公开(公告)日：

2015-05-06

发明(设计)人：

原田彰俊林彦廷陈智轩谢如嘉米田滋

申请人：

申请人地址：

日本东京都

IPC主分类号：

H01L213065

IPC分类号：

H01L2128 H01L21768

代理机构：

北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙) 11277

代理人：

刘新宇;李茂家

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2015-05-06	公开	公开
2018-04-17	授权	授权
2015-05-27	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101611553323 IPC(主分类):H01L 21/3065 专利申请号:201380045527X 申请日:20130827

共 50 条

[1]

等离子体处理方法和等离子体处理装置 [P].

平山祐介 ;

宫川正章 .

中国专利 :CN106463389B ,2017-02-22

[2]

等离子体处理方法和等离子体处理装置 [P].

胜沼隆幸 ;

本田昌伸 ;

市川裕展 .

中国专利 :CN103928285B ,2014-07-16

[3]

等离子体处理方法和等离子体处理装置 [P].

星直嗣 ;

大石哲也 ;

东堤慎司 .

中国专利 :CN109216182A ,2019-01-15

[4]

等离子体处理方法和等离子体处理装置 [P].

原田彰俊 .

中国专利 :CN104508803A ,2015-04-08

[5]

等离子体处理方法和等离子体处理装置 [P].

味上俊一 .

中国专利 :CN104103580B ,2014-10-15

[6]

等离子体处理装置和等离子体处理方法 [P].

舆水地盐 ;

山泽阳平 .

中国专利 :CN102522304A ,2012-06-27

[7]

等离子体处理装置和等离子体处理方法 [P].

镰田英纪 ;

池田太郎 ;

古屋治彦 .

中国专利 :CN114107950A ,2022-03-01

[8]

等离子体处理装置和等离子体处理方法 [P].

阪根亮太 ;

小林秀行 ;

长畑寿 ;

罗重佑 .

中国专利 :CN108172493B ,2018-06-15

[9]

等离子体处理装置和等离子体处理方法 [P].

舆水地盐 ;

山泽阳平 .

中国专利 :CN101847558B ,2010-09-29

[10]

等离子体处理方法和等离子体处理装置 [P].

谷川雄洋 ;

河田进二 ;

瀬本贵之 .

中国专利 :CN109103089A ,2018-12-28

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