等离子体处理方法和等离子体处理装置

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201380039947.7

申请日：

2013-08-07

公开(公告)号：

CN104508803A

公开(公告)日：

2015-04-08

发明(设计)人：

原田彰俊

申请人：

申请人地址：

日本东京都

IPC主分类号：

H01L213065

IPC分类号：

H05H146

代理机构：

北京尚诚知识产权代理有限公司 11322

代理人：

龙淳

法律状态：

公开

国省代码：

引用

下载

收藏

法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2015-04-08	公开	公开
2015-05-06	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101608395698 IPC(主分类):H01L 21/3065 专利申请号:2013800399477 申请日:20130807
2016-12-07	授权	授权

共 50 条

[1]

等离子体处理方法和等离子体处理装置 [P].

原田彰俊 ;

林彦廷 ;

陈智轩 ;

谢如嘉 ;

米田滋 .

中国专利 :CN104603917B ,2015-05-06

[2]

等离子体处理装置和等离子体处理方法 [P].

舆水地盐 ;

山泽阳平 .

中国专利 :CN102522304A ,2012-06-27

[3]

等离子体处理装置和等离子体处理方法 [P].

镰田英纪 ;

池田太郎 ;

古屋治彦 .

中国专利 :CN114107950A ,2022-03-01

[4]

等离子体处理装置和等离子体处理方法 [P].

阪根亮太 ;

小林秀行 ;

长畑寿 ;

罗重佑 .

中国专利 :CN108172493B ,2018-06-15

[5]

等离子体处理装置和等离子体处理方法 [P].

舆水地盐 ;

山泽阳平 .

中国专利 :CN101847558B ,2010-09-29

[6]

等离子体处理方法和等离子体处理装置 [P].

胜沼隆幸 ;

本田昌伸 ;

市川裕展 .

中国专利 :CN103928285B ,2014-07-16

[7]

等离子体处理方法和等离子体处理装置 [P].

平山祐介 ;

宫川正章 .

中国专利 :CN106605292A ,2017-04-26

[8]

等离子体处理装置和等离子体处理方法 [P].

镰田英纪 ;

池田太郎 ;

古屋治彦 .

日本专利 :CN114107950B ,2024-11-15

[9]

等离子体处理装置和等离子体处理方法 [P].

松浦广行 .

日本专利 :CN112786425B ,2024-09-20

[10]

等离子体处理方法和等离子体处理装置 [P].

平山祐介 ;

宫川正章 .

中国专利 :CN106463389B ,2017-02-22

← 1 2 3 4 5 →