等离子体处理装置和等离子体处理方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201510161834.5

申请日：

2010-10-27

公开(公告)号：

CN104768317A

公开(公告)日：

2015-07-08

发明(设计)人：

山泽阳平舆水地盐齐藤昌司传宝一树山涌纯

申请人：

申请人地址：

日本东京都

IPC主分类号：

H05H146

IPC分类号：

H01J3732

代理机构：

北京尚诚知识产权代理有限公司 11322

代理人：

龙淳

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2017-12-01	授权	授权
2015-07-08	公开	公开
2015-08-05	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101619256058 IPC(主分类):H05H 1/46 专利申请号:2015101618345 申请日:20101027

共 50 条

[1]

等离子体处理装置和等离子体处理方法 [P].

山泽阳平 ;

舆水地盐 ;

齐藤昌司 ;

传宝一树 ;

山涌纯 .

中国专利 :CN102157325B ,2011-08-17

[2]

等离子体处理装置和等离子体处理方法 [P].

山泽阳平 ;

舆水地盐 ;

传宝一树 ;

山涌纯 ;

齐藤昌司 .

中国专利 :CN102056395A ,2011-05-11

[3]

等离子体处理装置以及等离子体处理方法 [P].

山泽阳平 ;

舆水地盐 ;

齐藤昌司 ;

传宝一树 ;

山涌纯 ;

饭塚八城 .

中国专利 :CN102054649A ,2011-05-11

[4]

等离子体处理方法和等离子体处理装置 [P].

大矢欣伸 ;

田边明良 ;

安田吉纪 .

中国专利 :CN104599930A ,2015-05-06

[5]

等离子体处理方法和等离子体处理装置 [P].

大矢欣伸 ;

田边明良 ;

安田吉纪 .

中国专利 :CN102376559A ,2012-03-14

[6]

等离子体处理方法和等离子体处理装置 [P].

岸宏树 ;

徐智洙 .

中国专利 :CN106920733B ,2017-07-04

[7]

等离子体处理装置和等离子体处理方法 [P].

池田太郎 .

中国专利 :CN1554114A ,2004-12-08

[8]

等离子体处理方法和等离子体处理装置 [P].

星直嗣 ;

大石哲也 ;

东堤慎司 .

中国专利 :CN109216182A ,2019-01-15

[9]

等离子体处理装置 [P].

山泽阳平 ;

传宝一树 ;

山涌纯 .

中国专利 :CN103209537A ,2013-07-17

[10]

等离子体处理装置 [P].

山泽阳平 ;

传宝一树 ;

山涌纯 .

中国专利 :CN102056394A ,2011-05-11

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