等离子体处理装置

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201310077535.4

申请日：

2010-10-27

公开(公告)号：

CN103209537A

公开(公告)日：

2013-07-17

发明(设计)人：

山泽阳平传宝一树山涌纯

申请人：

申请人地址：

日本，东京都

IPC主分类号：

H05H146

IPC分类号：

H01L2100

代理机构：

北京尚诚知识产权代理有限公司 11322

代理人：

龙淳

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2013-08-14	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101506927219 IPC(主分类):H05H 1/46 专利申请号:2013100775354 申请日:20101027
2017-08-25	发明专利申请公布后的驳回	发明专利申请公布后的驳回号牌文件类型代码:1602 号牌文件序号:101757805641 IPC(主分类):H05H 1/46 专利申请号:2013100775354 申请公布日:20130717
2013-07-17	公开	公开

共 50 条

[1]

等离子体处理装置 [P].

山泽阳平 ;

传宝一树 ;

山涌纯 .

中国专利 :CN102056394A ,2011-05-11

[2]

等离子体处理装置 [P].

山泽阳平 ;

传宝一树 ;

山涌纯 .

中国专利 :CN105704904A ,2016-06-22

[3]

等离子体处理装置以及等离子体处理方法 [P].

山泽阳平 ;

舆水地盐 ;

齐藤昌司 ;

传宝一树 ;

山涌纯 ;

饭塚八城 .

中国专利 :CN102054649A ,2011-05-11

[4]

等离子体处理装置和等离子体处理方法 [P].

山泽阳平 ;

舆水地盐 ;

齐藤昌司 ;

传宝一树 ;

山涌纯 .

中国专利 :CN102157325B ,2011-08-17

[5]

等离子体处理装置和等离子体处理方法 [P].

山泽阳平 ;

舆水地盐 ;

传宝一树 ;

山涌纯 ;

齐藤昌司 .

中国专利 :CN102056395A ,2011-05-11

[6]

等离子体处理装置和等离子体处理方法 [P].

山泽阳平 ;

舆水地盐 ;

齐藤昌司 ;

传宝一树 ;

山涌纯 .

中国专利 :CN104768317A ,2015-07-08

[7]

等离子体处理装置和等离子体处理方法 [P].

山泽阳平 ;

齐藤昌司 ;

传宝一树 ;

輿水地盐 ;

山涌纯 .

中国专利 :CN102056396A ,2011-05-11

[8]

等离子体处理装置 [P].

大薮淳 ;

輿石公 .

中国专利 :CN100355039C ,2005-07-20

[9]

等离子体处理装置 [P].

松土龙夫 ;

桧森慎司 .

中国专利 :CN101540277A ,2009-09-23

[10]

等离子体处理方法和等离子体处理装置 [P].

岸宏树 ;

徐智洙 .

中国专利 :CN106920733B ,2017-07-04

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