等离子体处理装置

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN03805758.1

申请日：

2003-03-10

公开(公告)号：

CN100355039C

公开(公告)日：

2005-07-20

发明(设计)人：

大薮淳輿石公

申请人：

申请人地址：

日本东京都

IPC主分类号：

H01L213065

IPC分类号：

代理机构：

北京纪凯知识产权代理有限公司

代理人：

龙淳

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2005-07-20	公开	公开
2015-04-29	专利权的终止	未缴年费专利权终止号牌文件类型代码:1605 号牌文件序号:101607923768 IPC(主分类):H01L 21/3065 专利号:ZL038057581 申请日:20030310 授权公告日:20071212 终止日期:20140310
2005-09-14	实质审查的生效	实质审查的生效
2007-12-12	授权	授权

共 50 条

[1]

等离子体处理方法以及等离子体处理装置 [P].

小林保男 ;

川村刚平 .

中国专利 :CN100508134C ,2006-12-20

[2]

等离子体处理装置 [P].

山泽阳平 ;

传宝一树 ;

山涌纯 .

中国专利 :CN103209537A ,2013-07-17

[3]

等离子体处理装置 [P].

山泽阳平 ;

传宝一树 ;

山涌纯 .

中国专利 :CN102056394A ,2011-05-11

[4]

等离子体处理装置 [P].

山泽阳平 ;

传宝一树 ;

山涌纯 .

中国专利 :CN105704904A ,2016-06-22

[5]

等离子体处理方法和等离子体处理装置 [P].

岸宏树 ;

徐智洙 .

中国专利 :CN106920733B ,2017-07-04

[6]

等离子体处理装置以及等离子体处理方法 [P].

山泽阳平 ;

舆水地盐 ;

齐藤昌司 ;

传宝一树 ;

山涌纯 ;

饭塚八城 .

中国专利 :CN102054649A ,2011-05-11

[7]

等离子体处理方法和等离子体处理装置 [P].

星直嗣 ;

大石哲也 ;

东堤慎司 .

中国专利 :CN109216182A ,2019-01-15

[8]

等离子体处理方法和等离子体处理装置 [P].

大矢欣伸 ;

田边明良 ;

安田吉纪 .

中国专利 :CN104599930A ,2015-05-06

[9]

等离子体处理装置和等离子体处理方法 [P].

山泽阳平 ;

舆水地盐 ;

齐藤昌司 ;

传宝一树 ;

山涌纯 .

中国专利 :CN102157325B ,2011-08-17

[10]

等离子体处理装置和等离子体处理方法 [P].

山泽阳平 ;

舆水地盐 ;

传宝一树 ;

山涌纯 ;

齐藤昌司 .

中国专利 :CN102056395A ,2011-05-11

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