等离子体处理装置和等离子体处理方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN200910129589.4

申请日：

2009-03-31

公开(公告)号：

CN101552187B

公开(公告)日：

2009-10-07

发明(设计)人：

舆水地盐

申请人：

申请人地址：

日本东京都

IPC主分类号：

H01L2100

IPC分类号：

H01L213065 H01L21311 H01L2120 H05H124

代理机构：

北京尚诚知识产权代理有限公司 11322

代理人：

龙淳

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2009-10-07	公开	公开
2012-07-04	授权	授权
2009-12-02	实质审查的生效	实质审查的生效

共 50 条

[1]

等离子体处理装置 [P].

舆水地盐 .

中国专利 :CN102709145B ,2012-10-03

[2]

等离子体处理装置和等离子体处理方法 [P].

东条利洋 ;

藤井祐希 .

中国专利 :CN107275179A ,2017-10-20

[3]

等离子体处理装置和等离子体处理方法 [P].

池田太郎 .

中国专利 :CN1554114A ,2004-12-08

[4]

等离子体处理方法和等离子体处理装置 [P].

李诚泰 ;

土桥和也 .

中国专利 :CN102347231B ,2012-02-08

[5]

等离子体处理装置和等离子体处理方法 [P].

舆水地盐 ;

山泽阳平 .

中国专利 :CN102522304A ,2012-06-27

[6]

等离子体处理装置和等离子体处理方法 [P].

永海幸一 ;

鸟井夏实 .

中国专利 :CN109087843A ,2018-12-25

[7]

等离子体处理装置和等离子体处理方法 [P].

西條利晃 ;

阿部淳 ;

庄司省吾 ;

加藤纯也 .

中国专利 :CN114242552A ,2022-03-25

[8]

等离子体处理装置和等离子体处理方法 [P].

岩田学 ;

中山博之 ;

增泽健二 ;

本田昌伸 .

中国专利 :CN101515545B ,2009-08-26

[9]

等离子体处理装置和等离子体处理方法 [P].

舆水地盐 .

日本专利 :CN117480870B ,2024-06-28

[10]

等离子体处理装置和等离子体处理方法 [P].

王汤贵 ;

大石哲也 ;

浦川理史 ;

森北信也 .

日本专利 :CN119522474A ,2025-02-25

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