微机电系统器件的制造方法以及微机电系统器件

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专利类型
发明
申请号
CN201810819268.6
申请日
2018-07-24
公开(公告)号
CN109304936A
公开(公告)日
2019-02-05
发明(设计)人
菅原德起 八十岛健 村本美幸
申请人
申请人地址
日本东京
IPC主分类号
B41J201
IPC分类号
代理机构
北京金信知识产权代理有限公司 11225
代理人
苏萌萌;姜克伟
法律状态
实质审查的生效
国省代码
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共 50 条
[1]
微机电系统器件以及微机电系统器件的制造方法 [P]. 
黑川文弥 ;
会田康弘 .
日本专利 :CN118414298A ,2024-07-30
[2]
微机电系统器件以及微机电系统器件的制造方法 [P]. 
黑川文弥 ;
会田康弘 .
日本专利 :CN118434669A ,2024-08-02
[3]
微机电系统器件以及微机电系统器件的制造方法 [P]. 
福光政和 ;
阿尔蒂·托尔凯利 ;
维勒佩卡·利特克内 ;
安西·布洛姆奎斯特 ;
马蒂·硫克 ;
大川忠行 ;
彼得里·基尔皮宁 .
日本专利 :CN121219224A ,2025-12-26
[4]
微机电系统器件的制造方法及微机电系统器件 [P]. 
袁仁志 ;
林源为 .
中国专利 :CN114105086B ,2025-04-08
[5]
微机电系统器件的制造方法及微机电系统器件 [P]. 
袁仁志 ;
林源为 .
中国专利 :CN114105086A ,2022-03-01
[6]
微机电系统器件的制造方法及微机电系统器件 [P]. 
林源为 .
中国专利 :CN113184800A ,2021-07-30
[7]
微机电系统器件 [P]. 
胡永刚 ;
周国平 ;
夏长奉 .
中国专利 :CN111924794A ,2020-11-13
[8]
微机电系统器件 [P]. 
A.德赫 ;
M.纳瓦茨 .
中国专利 :CN104333838A ,2015-02-04
[9]
微机电系统器件 [P]. 
胡永刚 ;
周国平 ;
夏长奉 .
中国专利 :CN111924794B ,2024-06-04
[10]
微机电系统器件及其制造方法 [P]. 
李健飞 ;
王飞飞 ;
时鹏程 ;
徐宝盈 .
中国专利 :CN120090592A ,2025-06-03