微机电系统器件的制造方法及微机电系统器件

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202110402447.1

申请日：

2021-04-14

公开(公告)号：

CN113184800A

公开(公告)日：

2021-07-30

发明(设计)人：

林源为

申请人：

申请人地址：

100176 北京市大兴区北京经济技术开发区文昌大道8号

IPC主分类号：

B81C100

IPC分类号：

B81B700 B81B702

代理机构：

北京思创毕升专利事务所 11218

代理人：

孙向民;廉莉莉

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2021-08-17	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):B81C 1/00 申请日:20210414
2021-07-30	公开	公开

共 50 条

[1]

微机电系统器件的制造方法及微机电系统器件 [P].

袁仁志 ;

林源为 .

中国专利 :CN114105086B ,2025-04-08

[2]

微机电系统器件的制造方法及微机电系统器件 [P].

袁仁志 ;

林源为 .

中国专利 :CN114105086A ,2022-03-01

[3]

微机电系统器件以及微机电系统器件的制造方法 [P].

黑川文弥 ;

会田康弘 .

日本专利 :CN118414298A ,2024-07-30

[4]

微机电系统器件以及微机电系统器件的制造方法 [P].

黑川文弥 ;

会田康弘 .

日本专利 :CN118434669A ,2024-08-02

[5]

微机电系统器件的制造方法以及微机电系统器件 [P].

菅原德起 ;

八十岛健 ;

村本美幸 .

中国专利 :CN109304936A ,2019-02-05

[6]

微机电系统器件以及微机电系统器件的制造方法 [P].

福光政和 ;

阿尔蒂·托尔凯利 ;

维勒佩卡·利特克内 ;

安西·布洛姆奎斯特 ;

马蒂·硫克 ;

大川忠行 ;

彼得里·基尔皮宁 .

日本专利 :CN121219224A ,2025-12-26

[7]

微机电系统器件及其制造方法 [P].

许希丞 ;

李国豪 ;

翁睿均 ;

胡景翔 ;

蒋季宏 ;

拉瓦亚沙纳卡瓦拉普 ;

林家妤 ;

洪嘉骏 ;

李佳烜 ;

江煜培 .

中国专利 :CN113880039B ,2025-01-14

[8]

微机电系统器件及其制造方法 [P].

许希丞 ;

李国豪 ;

翁睿均 ;

胡景翔 ;

蒋季宏 ;

拉瓦亚沙纳卡瓦拉普 ;

林家妤 ;

洪嘉骏 ;

李佳烜 ;

江煜培 .

中国专利 :CN113880039A ,2022-01-04

[9]

微机电系统器件 [P].

李刚 ;

胡维 ;

梅嘉欣 ;

庄瑞芬 .

中国专利 :CN202988703U ,2013-06-12

[10]

微机电系统器件 [P].

胡永刚 ;

周国平 ;

夏长奉 .

中国专利 :CN111924794A ,2020-11-13

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