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一种微型芯片转移设备及转移方法
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN201910411332.1
申请日：
2019-05-17
公开(公告)号：
CN110112170A
公开(公告)日：
2019-08-09
发明(设计)人：
李响
张义荣
邬剑波
顾伟民
申请人：
申请人地址：
201506 上海市金山区金山工业区九工路1688号7幢
IPC主分类号：
H01L2715
IPC分类号：
H01L2167
代理机构：
北京品源专利代理有限公司 11332
代理人：
孟金喆
法律状态：
实质审查的生效
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2019-09-03 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 27/15 申请日:20190517 |
| 2019-08-09 | 公开 | 公开 |