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芯片转移装置及芯片转移方法
被引：0
申请号：
CN202111614316.6
申请日：
2021-12-27
公开(公告)号：
CN114420802A
公开(公告)日：
2022-04-29
发明(设计)人：
黄青青
张珂
申请人：
申请人地址：
518000 广东省深圳市龙华区大浪街道同胜社区工业园路1号1栋凯豪达大厦十三层1309
IPC主分类号：
H01L3300
IPC分类号：
H01L2167
H01L21683
代理机构：
深圳中细软知识产权代理有限公司 44528
代理人：
黄劼
法律状态：
公开
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2022-04-29 | 公开 | 公开 |
| 2022-05-20 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 33/00 申请日:20211227 |