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芯片转移装置及芯片转移方法
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN202010133893.2
申请日：
2020-02-27
公开(公告)号：
CN113314446A
公开(公告)日：
2021-08-27
发明(设计)人：
覃宗伟
申请人：
申请人地址：
201203 上海市浦东新区张东路1525号
IPC主分类号：
H01L21677
IPC分类号：
H01L2167
H01L3300
代理机构：
上海思捷知识产权代理有限公司 31295
代理人：
王宏婧
法律状态：
实质审查的生效
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2021-09-14 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 21/677 申请日:20200227 |
| 2021-08-27 | 公开 | 公开 |