一种连续不间断的光刻机放料装置

被引:0
专利类型
实用新型
申请号
CN202021912465.1
申请日
2020-09-04
公开(公告)号
CN213059210U
公开(公告)日
2021-04-27
发明(设计)人
周莹
申请人
申请人地址
212000 江苏省镇江市新区潘宗路38号健康食品产业园13号楼
IPC主分类号
B65G4905
IPC分类号
B65G4907 G03F720
代理机构
苏州市方略专利代理事务所(普通合伙) 32267
代理人
李玉婷
法律状态
授权
国省代码
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共 50 条
[1]
一种光刻机的不间断放料设备 [P]. 
胡德立 .
中国专利 :CN216686369U ,2022-06-07
[2]
一种不间断连续放料装置 [P]. 
韩旭 ;
闫保宁 .
中国专利 :CN205011158U ,2016-02-03
[3]
光刻机的送料装置 [P]. 
许乃聪 ;
蔡景鸿 ;
邱望洪 .
中国专利 :CN208964013U ,2019-06-11
[4]
一种光刻机的放晶圆装置 [P]. 
钟敏 .
中国专利 :CN114675510A ,2022-06-28
[5]
一种光刻机的取料装置 [P]. 
黄祖仪 ;
张宇 ;
杨维 .
中国专利 :CN208964039U ,2019-06-11
[6]
一种光刻机的取料装置 [P]. 
不公告发明人 .
中国专利 :CN213111459U ,2021-05-04
[7]
一种光刻机的送料装置 [P]. 
杨光宇 .
中国专利 :CN213536531U ,2021-06-25
[8]
一种光刻机的送料装置 [P]. 
关庆伟 ;
关则形 ;
何星华 ;
林志成 ;
林里亨 .
中国专利 :CN217932407U ,2022-11-29
[9]
一种不间断抽吸放料装置 [P]. 
项陈晨 .
中国专利 :CN222138069U ,2024-12-10
[10]
一种光刻机送料装置 [P]. 
王峰 ;
赵海琴 .
中国专利 :CN221190452U ,2024-06-21