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一种连续不间断的光刻机放料装置
被引:0
专利类型
:
实用新型
申请号
:
CN202021912465.1
申请日
:
2020-09-04
公开(公告)号
:
CN213059210U
公开(公告)日
:
2021-04-27
发明(设计)人
:
周莹
申请人
:
申请人地址
:
212000 江苏省镇江市新区潘宗路38号健康食品产业园13号楼
IPC主分类号
:
B65G4905
IPC分类号
:
B65G4907
G03F720
代理机构
:
苏州市方略专利代理事务所(普通合伙) 32267
代理人
:
李玉婷
法律状态
:
授权
国省代码
:
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法律状态
法律状态公告日
法律状态
法律状态信息
2021-04-27
授权
授权
共 50 条
[1]
一种光刻机的不间断放料设备
[P].
胡德立
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0
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0
胡德立
.
中国专利
:CN216686369U
,2022-06-07
[2]
一种不间断连续放料装置
[P].
韩旭
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韩旭
;
闫保宁
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闫保宁
.
中国专利
:CN205011158U
,2016-02-03
[3]
光刻机的送料装置
[P].
许乃聪
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许乃聪
;
蔡景鸿
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蔡景鸿
;
邱望洪
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邱望洪
.
中国专利
:CN208964013U
,2019-06-11
[4]
一种光刻机的放晶圆装置
[P].
钟敏
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钟敏
.
中国专利
:CN114675510A
,2022-06-28
[5]
一种光刻机的取料装置
[P].
黄祖仪
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黄祖仪
;
张宇
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张宇
;
杨维
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杨维
.
中国专利
:CN208964039U
,2019-06-11
[6]
一种光刻机的取料装置
[P].
不公告发明人
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不公告发明人
.
中国专利
:CN213111459U
,2021-05-04
[7]
一种光刻机的送料装置
[P].
杨光宇
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杨光宇
.
中国专利
:CN213536531U
,2021-06-25
[8]
一种光刻机的送料装置
[P].
关庆伟
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关庆伟
;
关则形
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关则形
;
何星华
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何星华
;
林志成
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林志成
;
林里亨
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林里亨
.
中国专利
:CN217932407U
,2022-11-29
[9]
一种不间断抽吸放料装置
[P].
项陈晨
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机构:
江苏天鹏石化科技股份有限公司
江苏天鹏石化科技股份有限公司
项陈晨
.
中国专利
:CN222138069U
,2024-12-10
[10]
一种光刻机送料装置
[P].
王峰
论文数:
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机构:
美可隆半导体(苏州)有限公司
美可隆半导体(苏州)有限公司
王峰
;
赵海琴
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机构:
美可隆半导体(苏州)有限公司
美可隆半导体(苏州)有限公司
赵海琴
.
中国专利
:CN221190452U
,2024-06-21
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