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一种光刻机的放晶圆装置
被引：0
申请号：
CN202210595922.6
申请日：
2022-05-30
公开(公告)号：
CN114675510A
公开(公告)日：
2022-06-28
发明(设计)人：
钟敏
申请人：
申请人地址：
200120 上海市浦东新区中国（上海）自由贸易试验区金海路955弄1号1层西侧
IPC主分类号：
G03F720
IPC分类号：
代理机构：
上海申新律师事务所 31272
代理人：
林志豪
法律状态：
实质审查的生效
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2022-07-15 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 IPC(主分类):G03F 7/20 申请日:20220530 |
| 2022-06-28 | 公开 | 公开 |