晶圆传送装置及光刻机

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN202420433497.5

申请日：

2024-03-06

公开(公告)号：

CN221827187U

公开(公告)日：

2024-10-11

发明(设计)人：

余先勇

申请人：

浙江创芯集成电路有限公司

申请人地址：

311200 浙江省杭州市萧山区经济技术开发区建设三路733号

IPC主分类号：

G03F7/20

IPC分类号：

代理机构：

上海知锦知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 31327

代理人：

潘彦君

法律状态：

授权

国省代码：

安徽省宣城市

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2024-10-11	授权	授权

共 50 条

[1]

光刻机用晶圆对准装置及光刻机 [P].

张琪 ;

符友银 .

中国专利 :CN120010198A ,2025-05-16

[2]

晶圆装载机及光刻机 [P].

潘钙 ;

王国峰 ;

杨忠武 .

中国专利 :CN214477369U ,2021-10-22

[3]

光刻机晶圆装载装置 [P].

陈庆生 ;

赵相宰 .

中国专利 :CN309155384S ,2025-03-07

[4]

晶圆载台装置及光刻机 [P].

金成昱 ;

申相旭 .

中国专利 :CN223155376U ,2025-07-25

[5]

晶圆级直写光刻机 [P].

刘杨 ;

何伟欣 ;

刘世林 ;

王方江 .

中国专利 :CN308451788S ,2024-02-02

[6]

光刻机晶圆载台 [P].

不公告发明人 .

中国专利 :CN208689361U ,2019-04-02

[7]

光刻机晶圆载台 [P].

不公告发明人 .

中国专利 :CN110750033A ,2020-02-04

[8]

晶圆背面自清洁装置及光刻机 [P].

李海峰 ;

张祥平 ;

古哲安 ;

沈俊明 .

中国专利 :CN217512436U ,2022-09-30

[9]

晶圆冷却装置及采用该晶圆冷却装置的光刻机 [P].

刘普然 ;

黄志凯 ;

叶日铨 .

中国专利 :CN209543040U ,2019-10-25

[10]

掩膜版传送装置及光刻机 [P].

张琪 ;

符友银 ;

芦志明 .

中国专利 :CN119717408B ,2025-11-11

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