掩膜版传送装置及光刻机

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202411993691.X

申请日：

2024-12-31

公开(公告)号：

CN119717408B

公开(公告)日：

2025-11-11

发明(设计)人：

张琪符友银芦志明

申请人：

上海新毅东半导体科技有限公司

申请人地址：

201708 上海市青浦区华新镇北青公路3888号6幢

IPC主分类号：

G03F7/20

IPC分类号：

B65G47/90

代理机构：

北京品源专利代理有限公司 11332

代理人：

梁学飞

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2025-04-15	实质审查的生效	实质审查的生效IPC(主分类):G03F 7/20申请日:20241231
2025-11-11	授权	授权
2025-03-28	公开	公开

共 50 条

[1]

掩膜版传送装置及光刻机 [P].

张琪 ;

符友银 ;

芦志明 .

中国专利 :CN119717408A ,2025-03-28

[2]

掩膜版上版装置及光刻机 [P].

叶小龙 ;

刘宇琪 .

中国专利 :CN215376087U ,2021-12-31

[3]

光刻机检测用掩膜版 [P].

李伟峰 .

中国专利 :CN106292175A ,2017-01-04

[4]

光刻机掩膜版对准系统 [P].

张琪 ;

符友银 ;

张曼妮 .

中国专利 :CN119395954A ,2025-02-07

[5]

光刻机掩膜版对准系统 [P].

张琪 ;

符友银 ;

张曼妮 .

中国专利 :CN119395954B ,2025-04-04

[6]

光刻机掩膜版盒的智能存取装置 [P].

牛立久 ;

张雪奎 ;

刘增增 ;

周一雷 ;

徐金鑫 .

中国专利 :CN216647080U ,2022-05-31

[7]

光刻机的掩膜版冷却系统 [P].

骆建钢 ;

徐晓敏 .

中国专利 :CN210776182U ,2020-06-16

[8]

掩膜板搬运装置及光刻机 [P].

李超 ;

郜茂杰 .

中国专利 :CN120335257A ,2025-07-18

[9]

一种光刻机的掩膜版降温装置 [P].

滕飞 .

中国专利 :CN203745795U ,2014-07-30

[10]

光刻机及其掩膜机台 [P].

张良 ;

吴静銮 ;

郭伟 ;

胡媛 ;

卢盈 ;

陈雪银 ;

田金华 ;

李成良 ;

韩姣 .

中国专利 :CN206757297U ,2017-12-15

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