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掩膜板搬运装置及光刻机

被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN202510768621.2
申请日：
2025-06-09
公开(公告)号：
CN120335257A
公开(公告)日：
2025-07-18
发明(设计)人：
李超 郜茂杰
申请人：
浙江创芯集成电路有限公司
申请人地址：
311200 浙江省杭州市萧山区宁围街道平澜路2118号浙江大学杭州国际科创中心水博园区11幢4层-5层（自主申报）
IPC主分类号：
G03F7/20
IPC分类号：
代理机构：
北京集佳知识产权代理有限公司 11227
代理人：
王琦
法律状态：
实质审查的生效
国省代码：
浙江省 杭州市
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法律状态
法律状态公告日 法律状态 法律状态信息
2025-08-05 实质审查的生效 实质审查的生效IPC(主分类):G03F 7/20申请日:20250609
2025-07-18 公开 公开
共 50 条
[1]
一种掩膜板整形装置及掩膜板整形方法、光刻机 [P]. 
程国苗 ;
冯光磊 ;
申楠楠 ;
董浩 ;
李新振 ;
胡玉龙 .
中国专利 :CN113741151A ,2021-12-03
[2]
掩膜版传送装置及光刻机 [P]. 
张琪 ;
符友银 ;
芦志明 .
中国专利 :CN119717408B ,2025-11-11
[3]
掩膜版传送装置及光刻机 [P]. 
张琪 ;
符友银 ;
芦志明 .
中国专利 :CN119717408A ,2025-03-28
[4]
光刻机及其掩膜机台 [P]. 
张良 ;
吴静銮 ;
郭伟 ;
胡媛 ;
卢盈 ;
陈雪银 ;
田金华 ;
李成良 ;
韩姣 .
中国专利 :CN206757297U ,2017-12-15
[5]
掩膜版上版装置及光刻机 [P]. 
叶小龙 ;
刘宇琪 .
中国专利 :CN215376087U ,2021-12-31
[6]
一种光刻机掩膜板真空吸盘 [P]. 
徐卫星 ;
马凯疆 .
中国专利 :CN118605090A ,2024-09-06
[7]
掩膜板搬运装置 [P]. 
高日凯 .
中国专利 :CN218433697U ,2023-02-03
[8]
光刻机检测用掩膜版 [P]. 
李伟峰 .
中国专利 :CN106292175A ,2017-01-04
[9]
提高无掩膜光刻机曝光功率密度的装置、方法及光刻机 [P]. 
卞洪飞 ;
张辉 ;
叶加良 ;
陈东 .
中国专利 :CN119292005B ,2025-10-10
[10]
提高无掩膜光刻机曝光功率密度的装置、方法及光刻机 [P]. 
卞洪飞 ;
张辉 ;
叶加良 ;
陈东 .
中国专利 :CN119292005A ,2025-01-10
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