晶圆载台装置及光刻机

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN202422436855.0

申请日：

2024-10-09

公开(公告)号：

CN223155376U

公开(公告)日：

2025-07-25

发明(设计)人：

金成昱申相旭

申请人：

成都高真科技有限公司

申请人地址：

610000 四川省成都市高新区科新路8号附19号

IPC主分类号：

G03F7/20

IPC分类号：

代理机构：

北京辰权知识产权代理有限公司 11619

代理人：

张鹏

法律状态：

授权

国省代码：

江苏省常州市

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2025-07-25	授权	授权

共 50 条

[1]

光刻机晶圆载台 [P].

不公告发明人 .

中国专利 :CN208689361U ,2019-04-02

[2]

光刻机晶圆载台 [P].

不公告发明人 .

中国专利 :CN110750033A ,2020-02-04

[3]

晶圆载台清洁装置及光刻机台 [P].

张童 ;

冯泳强 ;

刘洋 ;

杨鑫鑫 .

中国专利 :CN223108260U ,2025-07-15

[4]

光刻机用晶圆对准装置及光刻机 [P].

张琪 ;

符友银 .

中国专利 :CN120010198A ,2025-05-16

[5]

一种光刻机晶圆载台 [P].

章广飞 ;

王运钢 ;

薛业保 ;

李文静 .

中国专利 :CN220730632U ,2024-04-05

[6]

晶圆装载机及光刻机 [P].

潘钙 ;

王国峰 ;

杨忠武 .

中国专利 :CN214477369U ,2021-10-22

[7]

晶圆传送装置及光刻机 [P].

余先勇 .

中国专利 :CN221827187U ,2024-10-11

[8]

光刻机晶圆装载装置 [P].

陈庆生 ;

赵相宰 .

中国专利 :CN309155384S ,2025-03-07

[9]

晶圆背面自清洁装置及光刻机 [P].

李海峰 ;

张祥平 ;

古哲安 ;

沈俊明 .

中国专利 :CN217512436U ,2022-09-30

[10]

晶圆冷却装置及采用该晶圆冷却装置的光刻机 [P].

刘普然 ;

黄志凯 ;

叶日铨 .

中国专利 :CN209543040U ,2019-10-25

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