基板检查装置及使用其的基板检查方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN200710090692.3

申请日：

2007-04-03

公开(公告)号：

CN101051619B

公开(公告)日：

2007-10-10

发明(设计)人：

孙亨一金永日梁廷郁全灿济

申请人：

申请人地址：

韩国京畿道

IPC主分类号：

H01L2166

IPC分类号：

G01N2188 G01N21892 G01B1100 G01B1130 G01R31308 G02F1133 G02B520

代理机构：

北京市柳沈律师事务所 11105

代理人：

陶凤波

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2007-10-10	公开	公开
2011-12-28	授权	授权
2008-12-31	实质审查的生效	实质审查的生效
2022-03-15	专利权的终止	未缴年费专利权终止 IPC(主分类):H01L 21/66 申请日:20070403 授权公告日:20111228 终止日期:20210403
2012-11-28	专利申请权、专利权的转移	专利权的转移号牌文件类型代码:1602 号牌文件序号:101476546744 IPC(主分类):H01L 21/66 专利号:ZL2007100906923 变更事项:专利权人变更前权利人:三星电子株式会社变更后权利人:三星显示有限公司变更事项:地址变更前权利人:韩国京畿道变更后权利人:韩国京畿道登记生效日:20121031

共 50 条

[1]

玻璃基板检查装置及使用其检查玻璃基板的方法 [P].

刘磊 ;

朴成秀 ;

权永春 ;

于翔 ;

李兆廷 .

中国专利 :CN108508030A ,2018-09-07

[2]

基板检查装置及利用其的基板检查方法 [P].

郑升源 ;

崔钟镇 .

中国专利 :CN109804731A ,2019-05-24

[3]

基板检查装置、基板检查方法及基板检查装置的调整方法 [P].

松嶋大辅 ;

武藤真 ;

林义典 ;

若叶博之 ;

小野洋子 ;

森秀树 .

中国专利 :CN102749334A ,2012-10-24

[4]

基板检查装置及基板检查方法 [P].

戒田理夫 .

中国专利 :CN1996028A ,2007-07-11

[5]

基板检查方法及基板检查装置 [P].

山下宗宽 .

中国专利 :CN105510798A ,2016-04-20

[6]

基板检查装置及基板检查方法 [P].

洪映周 ;

洪德和 ;

金玟奎 ;

崔桢熏 .

中国专利 :CN109974599A ,2019-07-05

[7]

基板检查装置及基板检查方法 [P].

八坂智 .

中国专利 :CN103454286B ,2013-12-18

[8]

基板检查装置及基板检查方法 [P].

中村昭彦 ;

铃木芳邦 .

中国专利 :CN1815250B ,2006-08-09

[9]

基板检查装置及基板检查方法 [P].

绪方光 ;

太田宪宏 ;

天川良太 .

中国专利 :CN1920585A ,2007-02-28

[10]

基板检查装置及基板检查方法 [P].

盐入章弘 ;

村山林太郎 .

中国专利 :CN103543374A ,2014-01-29

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