基板检查装置及基板检查方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN200610080248.9

申请日：

2006-05-15

公开(公告)号：

CN1920585A

公开(公告)日：

2007-02-28

发明(设计)人：

绪方光太田宪宏天川良太

申请人：

申请人地址：

日本京都府

IPC主分类号：

G01R3100

IPC分类号：

G01R3102 G01R3101 H01L2166 B65G4774

代理机构：

北京三友知识产权代理有限公司

代理人：

黄纶伟

法律状态：

专利权的终止

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2016-06-29	专利权的终止	未缴年费专利权终止号牌文件类型代码:1605 号牌文件序号:101668951187 IPC(主分类):G01R 31/00 专利号:ZL2006100802489 申请日:20060515 授权公告日:20110824 终止日期:20150515
2007-02-28	公开	公开
2011-08-24	授权	授权
2008-08-27	实质审查的生效	实质审查的生效

共 50 条

[1]

基板检查装置及基板检查方法 [P].

戒田理夫 .

中国专利 :CN1996028A ,2007-07-11

[2]

基板检查方法及基板检查装置 [P].

山下宗宽 .

中国专利 :CN105510798A ,2016-04-20

[3]

基板检查装置及基板检查方法 [P].

洪映周 ;

洪德和 ;

金玟奎 ;

崔桢熏 .

中国专利 :CN109974599A ,2019-07-05

[4]

基板检查装置及基板检查方法 [P].

八坂智 .

中国专利 :CN103454286B ,2013-12-18

[5]

基板检查装置及基板检查方法 [P].

中村昭彦 ;

铃木芳邦 .

中国专利 :CN1815250B ,2006-08-09

[6]

基板检查装置及基板检查方法 [P].

盐入章弘 ;

村山林太郎 .

中国专利 :CN103543374A ,2014-01-29

[7]

基板检查装置及基板检查方法 [P].

洪映周 ;

洪德和 ;

金玟奎 ;

崔桢熏 .

中国专利 :CN113324487A ,2021-08-31

[8]

基板检查方法及基板检查装置 [P].

村上清 ;

浅野靖典 ;

木下崇 ;

四谷辉久 .

中国专利 :CN1746667A ,2006-03-15

[9]

基板检查装置及基板检查方法 [P].

洪映周 ;

洪德和 ;

金玟奎 ;

崔桢熏 .

中国专利 :CN109974598B ,2019-07-05

[10]

基板检查装置及基板检查方法 [P].

冈平裕幸 .

中国专利 :CN102338753A ,2012-02-01

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