基板检查方法及基板检查装置

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN200510099500.6

申请日：

2005-09-06

公开(公告)号：

CN1746667A

公开(公告)日：

2006-03-15

发明(设计)人：

村上清浅野靖典木下崇四谷辉久

申请人：

申请人地址：

日本京都府

IPC主分类号：

G01N21956

IPC分类号：

G06K903

代理机构：

隆天国际知识产权代理有限公司

代理人：

高龙鑫;王玉双

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2009-08-26	授权	授权
2006-03-15	公开	公开
2006-05-10	实质审查的生效	实质审查的生效

共 50 条

[1]

基板检查装置及基板检查方法 [P].

中村昭彦 ;

铃木芳邦 .

中国专利 :CN1815250B ,2006-08-09

[2]

基板检查装置、基板检查方法及基板检查装置的调整方法 [P].

松嶋大辅 ;

武藤真 ;

林义典 ;

若叶博之 ;

小野洋子 ;

森秀树 .

中国专利 :CN102749334A ,2012-10-24

[3]

基板检查装置及基板检查方法 [P].

戒田理夫 .

中国专利 :CN1996028A ,2007-07-11

[4]

基板检查方法及基板检查装置 [P].

山下宗宽 .

中国专利 :CN105510798A ,2016-04-20

[5]

基板检查装置及基板检查方法 [P].

洪映周 ;

洪德和 ;

金玟奎 ;

崔桢熏 .

中国专利 :CN109974599A ,2019-07-05

[6]

基板检查装置及基板检查方法 [P].

八坂智 .

中国专利 :CN103454286B ,2013-12-18

[7]

基板检查装置及基板检查方法 [P].

绪方光 ;

太田宪宏 ;

天川良太 .

中国专利 :CN1920585A ,2007-02-28

[8]

基板检查装置及基板检查方法 [P].

盐入章弘 ;

村山林太郎 .

中国专利 :CN103543374A ,2014-01-29

[9]

基板检查装置及基板检查方法 [P].

洪映周 ;

洪德和 ;

金玟奎 ;

崔桢熏 .

中国专利 :CN113324487A ,2021-08-31

[10]

基板检查装置及基板检查方法 [P].

洪映周 ;

洪德和 ;

金玟奎 ;

崔桢熏 .

中国专利 :CN109974598B ,2019-07-05

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