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基板检查装置及基板检查方法

被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN202110505263.8
申请日：
2018-11-28
公开(公告)号：
CN113324487A
公开(公告)日：
2021-08-31
发明(设计)人：
洪映周 洪德和 金玟奎 崔桢熏
申请人：
申请人地址：
韩国首尔市
IPC主分类号：
G01B1106
IPC分类号：
代理机构：
北京青松知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 11384
代理人：
郑青松
法律状态：
公开
国省代码：
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法律状态
法律状态公告日 法律状态 法律状态信息
2021-08-31 公开 公开
2021-09-17 实质审查的生效 实质审查的生效 IPC(主分类):G01B 11/06 申请日:20181128
共 50 条
[1]
基板检查装置及基板检查方法 [P]. 
洪映周 ;
洪德和 ;
金玟奎 ;
崔桢熏 .
中国专利 :CN109974598B ,2019-07-05
[2]
基板检查装置及基板检查方法 [P]. 
洪映周 ;
洪德和 ;
金玟奎 ;
崔桢熏 .
中国专利 :CN109974599A ,2019-07-05
[3]
基板检查装置 [P]. 
洪映周 ;
洪德和 ;
金玟奎 ;
崔桢熏 .
中国专利 :CN209399935U ,2019-09-17
[4]
基板检查装置 [P]. 
洪映周 ;
洪德和 ;
金玟奎 ;
崔桢熏 .
中国专利 :CN209399934U ,2019-09-17
[5]
基板检查装置及基板检查方法 [P]. 
戒田理夫 .
中国专利 :CN1996028A ,2007-07-11
[6]
基板检查方法及基板检查装置 [P]. 
山下宗宽 .
中国专利 :CN105510798A ,2016-04-20
[7]
基板检查装置及基板检查方法 [P]. 
八坂智 .
中国专利 :CN103454286B ,2013-12-18
[8]
基板检查装置及基板检查方法 [P]. 
中村昭彦 ;
铃木芳邦 .
中国专利 :CN1815250B ,2006-08-09
[9]
基板检查装置及基板检查方法 [P]. 
绪方光 ;
太田宪宏 ;
天川良太 .
中国专利 :CN1920585A ,2007-02-28
[10]
基板检查装置及基板检查方法 [P]. 
盐入章弘 ;
村山林太郎 .
中国专利 :CN103543374A ,2014-01-29
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