基板检查装置

被引:0
专利类型
实用新型
申请号
CN201821975696.X
申请日
2018-11-28
公开(公告)号
CN209399934U
公开(公告)日
2019-09-17
发明(设计)人
洪映周 洪德和 金玟奎 崔桢熏
申请人
申请人地址
韩国首尔市衿川区加山数码2路53号14楼,15楼
IPC主分类号
G01B1106
IPC分类号
代理机构
北京青松知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 11384
代理人
郑青松
法律状态
授权
国省代码
引用
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共 50 条
[1]
基板检查装置及基板检查方法 [P]. 
洪映周 ;
洪德和 ;
金玟奎 ;
崔桢熏 .
中国专利 :CN109974599A ,2019-07-05
[2]
基板检查装置及基板检查方法 [P]. 
洪映周 ;
洪德和 ;
金玟奎 ;
崔桢熏 .
中国专利 :CN113324487A ,2021-08-31
[3]
基板检查装置及基板检查方法 [P]. 
洪映周 ;
洪德和 ;
金玟奎 ;
崔桢熏 .
中国专利 :CN109974598B ,2019-07-05
[4]
基板检查装置 [P]. 
洪映周 ;
洪德和 ;
金玟奎 ;
崔桢熏 .
中国专利 :CN209399935U ,2019-09-17
[5]
基板检查装置 [P]. 
水田靖生 ;
胁田典宏 .
中国专利 :CN100345434C ,2005-11-30
[6]
基板检查装置 [P]. 
杨章亮 ;
张然 .
中国专利 :CN203502360U ,2014-03-26
[7]
基板检查装置以及基板检查方法 [P]. 
山下宗宽 .
中国专利 :CN105137255A ,2015-12-09
[8]
基板检查装置及基板检查方法 [P]. 
戒田理夫 .
中国专利 :CN1996028A ,2007-07-11
[9]
基板检查方法及基板检查装置 [P]. 
山下宗宽 .
中国专利 :CN105510798A ,2016-04-20
[10]
基板检查装置和基板检查方法 [P]. 
山下宗宽 .
中国专利 :CN101191811A ,2008-06-04