基板检查装置和基板检查方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN200710196206.6

申请日：

2007-11-29

公开(公告)号：

CN101191811A

公开(公告)日：

2008-06-04

发明(设计)人：

山下宗宽

申请人：

申请人地址：

日本京都府

IPC主分类号：

G01R3100

IPC分类号：

G01R3128 G01R3102

代理机构：

北京三友知识产权代理有限公司

代理人：

黄纶伟

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

引用

下载

收藏

法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2009-12-09	实质审查的生效	实质审查的生效
2008-06-04	公开	公开
2014-07-30	授权	授权

共 50 条

[1]

基板检查装置和基板检查方法 [P].

角田晴美 .

中国专利 :CN101454680A ,2009-06-10

[2]

基板检查方法和基板检查装置 [P].

久野和哉 ;

清富晶子 .

中国专利 :CN110739240A ,2020-01-31

[3]

基板检查方法和基板检查装置 [P].

久野和哉 ;

清富晶子 .

日本专利 :CN110739240B ,2024-06-28

[4]

基板检查装置和基板检查方法 [P].

山下宗宽 ;

辻英明 .

中国专利 :CN102879646B ,2013-01-16

[5]

基板检查装置和基板检查方法 [P].

山田浩史 .

中国专利 :CN109863414A ,2019-06-07

[6]

基板检查装置和基板检查方法 [P].

李东勋 ;

曺慈泳 .

韩国专利 :CN118777723A ,2024-10-15

[7]

基板检查方法和基板检查装置 [P].

垰田勇 .

中国专利 :CN115326817A ,2022-11-11

[8]

基板检查装置和基板检查方法 [P].

中山孝文 ;

山口修 ;

恩知勲 ;

八田重俊 .

中国专利 :CN103713209A ,2014-04-09

[9]

基板检查方法和基板检查装置 [P].

垰田勇 .

日本专利 :CN115326817B ,2025-06-03

[10]

基板检查装置和基板检查方法 [P].

齐藤美佐子 ;

林辉幸 .

中国专利 :CN101313398A ,2008-11-26

← 1 2 3 4 5 →