基板检查装置和基板检查方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN200780019423.6

申请日：

2007-06-19

公开(公告)号：

CN101454680A

公开(公告)日：

2009-06-10

发明(设计)人：

角田晴美

申请人：

申请人地址：

日本京都府

IPC主分类号：

G01R3102

IPC分类号：

代理机构：

北京三友知识产权代理有限公司

代理人：

黄纶伟

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2009-06-10	公开	公开
2012-07-04	发明专利申请公布后的驳回	发明专利申请公布后的驳回号牌文件类型代码:1602 号牌文件序号:101402328286 IPC(主分类):G01R 31/02 专利申请号:2007800194236 公开日:20090610
2009-08-05	实质审查的生效	实质审查的生效

共 50 条

[1]

基板检查装置和基板检查方法 [P].

山下宗宽 .

中国专利 :CN101191811A ,2008-06-04

[2]

基板检查方法和基板检查装置 [P].

久野和哉 ;

清富晶子 .

中国专利 :CN110739240A ,2020-01-31

[3]

基板检查方法和基板检查装置 [P].

久野和哉 ;

清富晶子 .

日本专利 :CN110739240B ,2024-06-28

[4]

基板检查装置和基板检查方法 [P].

山下宗宽 ;

辻英明 .

中国专利 :CN102879646B ,2013-01-16

[5]

基板检查装置和基板检查方法 [P].

山田浩史 .

中国专利 :CN109863414A ,2019-06-07

[6]

基板检查装置和基板检查方法 [P].

李东勋 ;

曺慈泳 .

韩国专利 :CN118777723A ,2024-10-15

[7]

基板检查方法和基板检查装置 [P].

垰田勇 .

中国专利 :CN115326817A ,2022-11-11

[8]

基板检查装置和基板检查方法 [P].

中山孝文 ;

山口修 ;

恩知勲 ;

八田重俊 .

中国专利 :CN103713209A ,2014-04-09

[9]

基板检查方法和基板检查装置 [P].

垰田勇 .

日本专利 :CN115326817B ,2025-06-03

[10]

基板检查装置和基板检查方法 [P].

齐藤美佐子 ;

林辉幸 .

中国专利 :CN101313398A ,2008-11-26

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