基板检查装置

被引:0
专利类型
实用新型
申请号
CN201821975696.X
申请日
2018-11-28
公开(公告)号
CN209399934U
公开(公告)日
2019-09-17
发明(设计)人
洪映周 洪德和 金玟奎 崔桢熏
申请人
申请人地址
韩国首尔市衿川区加山数码2路53号14楼,15楼
IPC主分类号
G01B1106
IPC分类号
代理机构
北京青松知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 11384
代理人
郑青松
法律状态
授权
国省代码
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共 50 条
[21]
基板检查方法和基板检查装置 [P]. 
垰田勇 .
中国专利 :CN115326817A ,2022-11-11
[22]
基板检查装置和基板检查方法 [P]. 
中山孝文 ;
山口修 ;
恩知勲 ;
八田重俊 .
中国专利 :CN103713209A ,2014-04-09
[23]
基板检查装置及基板检查方法 [P]. 
绪方光 ;
太田宪宏 ;
天川良太 .
中国专利 :CN1920585A ,2007-02-28
[24]
基板检查装置及基板检查方法 [P]. 
盐入章弘 ;
村山林太郎 .
中国专利 :CN103543374A ,2014-01-29
[25]
基板检查方法及基板检查装置 [P]. 
村上清 ;
浅野靖典 ;
木下崇 ;
四谷辉久 .
中国专利 :CN1746667A ,2006-03-15
[26]
基板检查装置及基板检查方法 [P]. 
冈平裕幸 .
中国专利 :CN102338753A ,2012-02-01
[27]
基板检查方法和基板检查装置 [P]. 
垰田勇 .
日本专利 :CN115326817B ,2025-06-03
[28]
基板检查装置以及基板检查方法 [P]. 
山本正美 .
中国专利 :CN1721868A ,2006-01-18
[29]
基板检查夹具以及基板检查装置 [P]. 
栗原靖人 .
中国专利 :CN103487608A ,2014-01-01
[30]
基板检查装置及基板检查方法 [P]. 
高桥正 ;
鸙野俊寿 ;
本田睦博 .
中国专利 :CN107076790B ,2017-08-18