基板检查夹具以及基板检查装置

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201310228424.9

申请日：

2013-06-08

公开(公告)号：

CN103487608A

公开(公告)日：

2014-01-01

发明(设计)人：

栗原靖人

申请人：

申请人地址：

日本京都府

IPC主分类号：

G01R104

IPC分类号：

G01R3112

代理机构：

北京弘权知识产权代理事务所(普通合伙) 11363

代理人：

郭放;许伟群

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2015-06-24	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101614627056 IPC(主分类):G01R 1/04 专利申请号:2013102284249 申请日:20130608
2014-01-01	公开	公开
2018-11-27	发明专利申请公布后的视为撤回	发明专利申请公布后的视为撤回 IPC(主分类):G01R 1/04 申请公布日:20140101

共 50 条

[1]

基板检查夹具以及具备该基板检查夹具的基板检查装置 [P].

长谷川宽 .

中国专利 :CN101726631A ,2010-06-09

[2]

检查夹具、基板检查装置及基板检查方法 [P].

松冈伸治 ;

山下宗宽 .

中国专利 :CN105021941B ,2015-11-04

[3]

基板检查装置以及基板检查方法 [P].

山下宗宽 .

中国专利 :CN105137255A ,2015-12-09

[4]

基板检查装置以及基板检查方法 [P].

菊池和义 ;

小畑卓也 .

日本专利 :CN118382798A ,2024-07-23

[5]

基板检查装置以及基板检查方法 [P].

高木修 .

中国专利 :CN102331429A ,2012-01-25

[6]

基板检查装置以及基板检查方法 [P].

山本正美 .

中国专利 :CN1721868A ,2006-01-18

[7]

基板检查装置以及基板检查方法 [P].

菊池和义 .

日本专利 :CN117441099A ,2024-01-23

[8]

基板检查装置、基板检查方法以及基板检查程序 [P].

冈崎祥也 .

中国专利 :CN106154097A ,2016-11-23

[9]

基板检查夹具、夹具底座单元和基板检查装置 [P].

藤野真 .

中国专利 :CN103091516A ,2013-05-08

[10]

检查夹具及基板检查装置 [P].

生野裕仁 ;

松川俊英 .

日本专利 :CN119291241A ,2025-01-10

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