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基板检查装置以及基板检查方法
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN202280040877.6
申请日：
2022-03-14
公开(公告)号：
CN117441099A
公开(公告)日：
2024-01-23
发明(设计)人：
菊池和义
申请人：
CKD株式会社
申请人地址：
日本爱知县
IPC主分类号：
G01N21/956
IPC分类号：
代理机构：
北京东方亿思知识产权代理有限责任公司 11258
代理人：
刘军
法律状态：
实质审查的生效
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2024-02-09 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效IPC(主分类):G01N 21/956申请日:20220314 |
| 2024-01-23 | 公开 | 公开 |