基板检查装置、基板检查方法以及基板检查程序

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201510649548.3

申请日：

2015-10-09

公开(公告)号：

CN106154097A

公开(公告)日：

2016-11-23

发明(设计)人：

冈崎祥也

申请人：

申请人地址：

日本东京都

IPC主分类号：

G01R3102

IPC分类号：

G01R3128

代理机构：

北京三友知识产权代理有限公司 11127

代理人：

李辉;于靖帅

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2016-11-23	公开	公开
2021-12-31	专利权人的姓名或者名称、地址的变更	专利权人的姓名或者名称、地址的变更 IPC(主分类):G01R 31/02 变更事项:专利权人变更前:富士施乐株式会社变更后:富士胶片商业创新有限公司变更事项:地址变更前:日本东京都变更后:日本东京都
2016-12-21	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101692514736 IPC(主分类):G01R 31/02 专利申请号:2015106495483 申请日:20151009
2019-02-15	授权	授权

共 50 条

[1]

基板检查装置以及基板检查方法 [P].

山下宗宽 .

中国专利 :CN105137255A ,2015-12-09

[2]

基板检查装置以及基板检查方法 [P].

菊池和义 ;

小畑卓也 .

日本专利 :CN118382798A ,2024-07-23

[3]

基板检查装置以及基板检查方法 [P].

高木修 .

中国专利 :CN102331429A ,2012-01-25

[4]

基板检查装置以及基板检查方法 [P].

山本正美 .

中国专利 :CN1721868A ,2006-01-18

[5]

基板检查装置以及基板检查方法 [P].

菊池和义 .

日本专利 :CN117441099A ,2024-01-23

[6]

基板检查夹具以及基板检查装置 [P].

栗原靖人 .

中国专利 :CN103487608A ,2014-01-01

[7]

基板检查装置、检查辅具以及基板检查方法 [P].

山下宗宽 .

中国专利 :CN108919038A ,2018-11-30

[8]

检查辅具、基板检查装置以及基板检查方法 [P].

加藤穰 ;

冈本圭弘 ;

林明生 ;

山岸拓平 .

中国专利 :CN108291933A ,2018-07-17

[9]

基板检查装置、基板处理装置、基板检查方法以及基板处理方法 [P].

柏山真人 ;

C·佩丘莱斯基 ;

森田彰彦 ;

松尾友宏 .

中国专利 :CN109564853A ,2019-04-02

[10]

基板检查装置、基板检查方法以及基板的制造方法 [P].

二村伊久雄 ;

大山刚 ;

坂井田宪彦 .

中国专利 :CN110268220B ,2019-09-20

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