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基板检查装置、基板处理装置、基板检查方法以及基板处理方法
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN201780047626.X
申请日：
2017-04-03
公开(公告)号：
CN109564853A
公开(公告)日：
2019-04-02
发明(设计)人：
柏山真人
C·佩丘莱斯基
森田彰彦
松尾友宏
申请人：
申请人地址：
日本京都府
IPC主分类号：
H01L21027
IPC分类号：
G01N21956
H01L2166
代理机构：
隆天知识产权代理有限公司 72003
代理人：
向勇
法律状态：
公开
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2019-04-02 | 公开 | 公开 |
| 2019-04-26 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 21/027 申请日:20170403 |