基板检查装置以及基板检查方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN200510084843.5

申请日：

2005-07-18

公开(公告)号：

CN1721868A

公开(公告)日：

2006-01-18

发明(设计)人：

山本正美

申请人：

申请人地址：

日本京都府

IPC主分类号：

G01R3102

IPC分类号：

代理机构：

北京市柳沈律师事务所

代理人：

陶凤波;侯宇

法律状态：

发明专利申请公布后的视为撤回

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2008-04-09	发明专利申请公布后的视为撤回	发明专利申请公布后的视为撤回
2006-01-18	公开	公开

共 50 条

[1]

基板检查装置以及基板检查方法 [P].

山下宗宽 .

中国专利 :CN105137255A ,2015-12-09

[2]

基板检查装置以及基板检查方法 [P].

菊池和义 ;

小畑卓也 .

日本专利 :CN118382798A ,2024-07-23

[3]

基板检查装置以及基板检查方法 [P].

高木修 .

中国专利 :CN102331429A ,2012-01-25

[4]

基板检查装置以及基板检查方法 [P].

菊池和义 .

日本专利 :CN117441099A ,2024-01-23

[5]

基板检查装置、基板检查方法以及基板检查程序 [P].

冈崎祥也 .

中国专利 :CN106154097A ,2016-11-23

[6]

基板检查装置、检查辅具以及基板检查方法 [P].

山下宗宽 .

中国专利 :CN108919038A ,2018-11-30

[7]

检查辅具、基板检查装置以及基板检查方法 [P].

加藤穰 ;

冈本圭弘 ;

林明生 ;

山岸拓平 .

中国专利 :CN108291933A ,2018-07-17

[8]

基板检查夹具以及基板检查装置 [P].

栗原靖人 .

中国专利 :CN103487608A ,2014-01-01

[9]

基板检查装置及基板检查方法 [P].

戒田理夫 .

中国专利 :CN1996028A ,2007-07-11

[10]

基板检查装置和基板检查方法 [P].

山田浩史 .

中国专利 :CN109863414A ,2019-06-07

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