检查夹具、基板检查装置及基板检查方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201510187368.8

申请日：

2015-04-20

公开(公告)号：

CN105021941B

公开(公告)日：

2015-11-04

发明(设计)人：

松冈伸治山下宗宽

申请人：

申请人地址：

日本京都府京都市

IPC主分类号：

G01R3102

IPC分类号：

G01R104

代理机构：

北京铭硕知识产权代理有限公司 11286

代理人：

金玉兰;孙昌浩

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2017-01-04	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101695573500 IPC(主分类):G01R 31/02 专利申请号:2015101873688 申请日:20150420
2015-11-04	公开	公开
2019-02-22	授权	授权

共 50 条

[1]

基板检查夹具以及基板检查装置 [P].

栗原靖人 .

中国专利 :CN103487608A ,2014-01-01

[2]

基板检查装置及基板检查方法 [P].

高桥正 ;

鸙野俊寿 ;

本田睦博 .

中国专利 :CN107076790B ,2017-08-18

[3]

检查夹具及基板检查装置 [P].

生野裕仁 ;

松川俊英 .

日本专利 :CN119291241A ,2025-01-10

[4]

基板检查装置及基板检查方法 [P].

戒田理夫 .

中国专利 :CN1996028A ,2007-07-11

[5]

基板检查方法及基板检查装置 [P].

山下宗宽 .

中国专利 :CN105510798A ,2016-04-20

[6]

基板检查装置及基板检查方法 [P].

洪映周 ;

洪德和 ;

金玟奎 ;

崔桢熏 .

中国专利 :CN109974599A ,2019-07-05

[7]

基板检查装置及基板检查方法 [P].

八坂智 .

中国专利 :CN103454286B ,2013-12-18

[8]

基板检查装置及基板检查方法 [P].

中村昭彦 ;

铃木芳邦 .

中国专利 :CN1815250B ,2006-08-09

[9]

基板检查装置及基板检查方法 [P].

绪方光 ;

太田宪宏 ;

天川良太 .

中国专利 :CN1920585A ,2007-02-28

[10]

基板检查装置及基板检查方法 [P].

盐入章弘 ;

村山林太郎 .

中国专利 :CN103543374A ,2014-01-29

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