基板检查夹具、夹具底座单元和基板检查装置

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201210436392.7

申请日：

2012-11-05

公开(公告)号：

CN103091516A

公开(公告)日：

2013-05-08

发明(设计)人：

藤野真

申请人：

申请人地址：

日本京都府

IPC主分类号：

G01R104

IPC分类号：

G01R3128

代理机构：

北京弘权知识产权代理事务所(普通合伙) 11363

代理人：

郭放;许伟群

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2013-05-08	公开	公开
2013-06-12	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101468523753 IPC(主分类):G01R 1/04 专利申请号:2012104363927 申请日:20121105
2016-10-19	发明专利申请公布后的视为撤回	发明专利申请公布后的视为撤回号牌文件类型代码:1602 号牌文件序号:101740376065 IPC(主分类):G01R 1/04 专利申请号:2012104363927 申请公布日:20130508

共 50 条

[1]

基板检查夹具以及基板检查装置 [P].

栗原靖人 .

中国专利 :CN103487608A ,2014-01-01

[2]

基板检查夹具以及具备该基板检查夹具的基板检查装置 [P].

长谷川宽 .

中国专利 :CN101726631A ,2010-06-09

[3]

检查夹具、基板检查装置及基板检查方法 [P].

松冈伸治 ;

山下宗宽 .

中国专利 :CN105021941B ,2015-11-04

[4]

检查夹具及基板检查装置 [P].

生野裕仁 ;

松川俊英 .

日本专利 :CN119291241A ,2025-01-10

[5]

基板检查用触头、基板检查用夹具及基板检查装置 [P].

广部幸祐 ;

藤野真 ;

加藤穰 .

中国专利 :CN101071140A ,2007-11-14

[6]

连接模块、检查夹具及基板检查装置 [P].

裴子容 ;

山下宗宽 .

中国专利 :CN109298310A ,2019-02-01

[7]

探针、检查夹具、检查单元和检查装置 [P].

笹野直哉 ;

寺西宏真 ;

酒井贵浩 ;

崔时薰 .

中国专利 :CN110118882A ,2019-08-13

[8]

基板用轻量化检查夹具及基板用检查装置 [P].

木津卓也 ;

何幼峰 ;

孙栋 .

中国专利 :CN210243692U ,2020-04-03

[9]

基板检查装置和基板检查方法 [P].

山下宗宽 .

中国专利 :CN101191811A ,2008-06-04

[10]

基板检查装置和基板检查方法 [P].

角田晴美 .

中国专利 :CN101454680A ,2009-06-10

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