基板检查用触头、基板检查用夹具及基板检查装置

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN200710102915.3

申请日：

2007-05-11

公开(公告)号：

CN101071140A

公开(公告)日：

2007-11-14

发明(设计)人：

广部幸祐藤野真加藤穰

申请人：

申请人地址：

日本京都府京都市

IPC主分类号：

G01R104

IPC分类号：

G01R106 G01R3102 G01R114

代理机构：

中国专利代理(香港)有限公司

代理人：

温大鹏

法律状态：

发明专利申请公布后的驳回

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2011-09-14	发明专利申请公布后的驳回	发明专利申请公布后的驳回号牌文件类型代码:1602 号牌文件序号:101183785927 IPC(主分类):G01R 1/04 专利申请号:2007101029153 公开日:20071114
2008-01-09	实质审查的生效	实质审查的生效
2007-11-14	公开	公开

共 50 条

[1]

基板用轻量化检查夹具及基板用检查装置 [P].

木津卓也 ;

何幼峰 ;

孙栋 .

中国专利 :CN210243692U ,2020-04-03

[2]

检查夹具、基板检查装置及基板检查方法 [P].

松冈伸治 ;

山下宗宽 .

中国专利 :CN105021941B ,2015-11-04

[3]

基板用双模式检查夹具及基板用检查装置 [P].

木津卓也 ;

何幼峰 ;

尹冬勤 .

中国专利 :CN210243693U ,2020-04-03

[4]

基板检查夹具以及基板检查装置 [P].

栗原靖人 .

中国专利 :CN103487608A ,2014-01-01

[5]

检查夹具及基板检查装置 [P].

生野裕仁 ;

松川俊英 .

日本专利 :CN119291241A ,2025-01-10

[6]

基板检查夹具以及具备该基板检查夹具的基板检查装置 [P].

长谷川宽 .

中国专利 :CN101726631A ,2010-06-09

[7]

基板检查装置及基板检查方法 [P].

戒田理夫 .

中国专利 :CN1996028A ,2007-07-11

[8]

基板检查方法及基板检查装置 [P].

山下宗宽 .

中国专利 :CN105510798A ,2016-04-20

[9]

基板检查装置及基板检查方法 [P].

中村昭彦 ;

铃木芳邦 .

中国专利 :CN1815250B ,2006-08-09

[10]

基板检查装置及基板检查方法 [P].

洪映周 ;

洪德和 ;

金玟奎 ;

崔桢熏 .

中国专利 :CN109974599A ,2019-07-05

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