基于光纤出射光探测的组合悬臂梁探针传感方法及装置

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201510381723.5

申请日：

2015-07-02

公开(公告)号：

CN105043255A

公开(公告)日：

2015-11-11

发明(设计)人：

邹丽敏倪赫谭久彬

申请人：

申请人地址：

150001 黑龙江省哈尔滨市南岗区西大直街92号

IPC主分类号：

G01B1100

IPC分类号：

代理机构：

哈尔滨市伟晨专利代理事务所(普通合伙) 23209

代理人：

张伟

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2015-12-09	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101636486763 IPC(主分类):G01B 11/00 专利申请号:2015103817235 申请日:20150702
2018-01-26	授权	授权
2015-11-11	公开	公开

共 50 条

[1]

一种基于光纤出射光准直探测的组合悬臂梁探针传感装置及其传感方法 [P].

邹丽敏 ;

张鹏 ;

倪赫 ;

谭久彬 .

中国专利 :CN105841608A ,2016-08-10

[2]

一种基于光束扫描探测的组合悬臂梁探针传感装置及传感方法 [P].

倪赫 ;

邹丽敏 ;

张鹏 ;

谭久彬 .

中国专利 :CN105841609B ,2016-08-10

[3]

基于飞秒激光与高温成型悬臂梁探针的方法及悬臂梁探针 [P].

刘红英 ;

刘光献 ;

顾春川 ;

邓敏 ;

樊凯 ;

李杜娟 ;

厉力华 ;

陈建龙 .

中国专利 :CN111825056A ,2020-10-27

[4]

基于飞秒激光与高温成型悬臂梁探针的方法及悬臂梁探针 [P].

刘红英 ;

刘光献 ;

顾春川 ;

邓敏 ;

樊凯 ;

李杜娟 ;

厉力华 ;

陈建龙 .

中国专利 :CN111825056B ,2024-10-25

[5]

MEMS光纤悬臂梁声传感器及制备方法 [P].

高晓光 ;

贾建 ;

何秀丽 .

中国专利 :CN115435885B ,2024-11-26

[6]

MEMS光纤悬臂梁声传感器及制备方法 [P].

高晓光 ;

贾建 ;

何秀丽 .

中国专利 :CN115435885A ,2022-12-06

[7]

微悬臂梁探针的设计方法 [P].

谭新峰 ;

郭丹 ;

江亮 ;

师帅 ;

雒建斌 .

中国专利 :CN110046366B ,2019-07-23

[8]

悬臂梁的加工方法、装置及悬臂梁 [P].

刘瑞元 ;

胡俊飞 ;

侯立永 ;

梁小芃 .

中国专利 :CN118619198A ,2024-09-10

[9]

基于压电扫描的微悬臂梁阵列生化传感装置及方法 [P].

张青川 ;

邬林 ;

程腾 .

中国专利 :CN103869062A ,2014-06-18

[10]

基于微镜扫描的微悬臂梁阵列生化传感装置及方法 [P].

张青川 ;

邬林 ;

程腾 .

中国专利 :CN103868889A ,2014-06-18

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