一种四氟化硅纯化系统

被引:0
专利类型
实用新型
申请号
CN201721282759.9
申请日
2017-09-30
公开(公告)号
CN207294193U
公开(公告)日
2018-05-01
发明(设计)人
盛国臣 龚兴荣 廖华 张灿
申请人
申请人地址
443311 湖北省宜昌市宜都市枝城镇兴发工业园
IPC主分类号
C01B33107
IPC分类号
代理机构
宜昌市慧宜专利商标代理事务所(特殊普通合伙) 42226
代理人
彭娅
法律状态
授权
国省代码
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共 50 条
[1]
一种四氟化硅的纯化系统 [P]. 
吴杰 ;
廖恒易 ;
曹小林 .
中国专利 :CN208856914U ,2019-05-14
[2]
一种高纯四氟化硅气体的纯化方法及纯化系统 [P]. 
金向华 ;
徐聪 ;
孙猛 ;
王新喜 .
中国专利 :CN112374503A ,2021-02-19
[3]
一种简单有效的四氟化硅提纯系统 [P]. 
杨建松 ;
陈德伟 ;
栗广奉 ;
耿金春 .
中国专利 :CN201942524U ,2011-08-24
[4]
一种四氟化硅的纯化方法 [P]. 
蒋玉贵 ;
孟祥军 ;
李翔宇 ;
董云海 ;
乔蓓蓓 ;
沙婷 ;
杨庆平 .
中国专利 :CN105565324A ,2016-05-11
[5]
一种四氟化硅吸收系统 [P]. 
何浩明 ;
龚兴荣 ;
王飞 .
中国专利 :CN218131027U ,2022-12-27
[6]
用于纯化四氟化硅的方法 [P]. 
维塔尔·雷万卡尔 ;
贾米勒·伊布拉希姆 .
中国专利 :CN102862990A ,2013-01-09
[7]
用于纯化四氟化硅的方法 [P]. 
维塔尔·雷万卡尔 ;
贾米勒·伊布拉希姆 .
中国专利 :CN101918311A ,2010-12-15
[8]
一种四氟化硅的制备及纯化方法 [P]. 
蒋玉贵 ;
李翔宇 ;
孟祥军 ;
张净普 ;
胡帅 ;
朱文冬 ;
张长金 .
中国专利 :CN105502410A ,2016-04-20
[9]
一种有效的四氟化硅制备系统 [P]. 
韩世军 ;
罗红雷 .
中国专利 :CN208762159U ,2019-04-19
[10]
一种有效的四氟化硅制备系统 [P]. 
陈德伟 ;
陈惠祥 ;
耿金春 ;
孔祥云 .
中国专利 :CN202322396U ,2012-07-11