一种高纯四氟化硅气体的纯化方法及纯化系统

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202011306324.X

申请日：

2020-11-19

公开(公告)号：

CN112374503A

公开(公告)日：

2021-02-19

发明(设计)人：

金向华徐聪孙猛王新喜

申请人：

申请人地址：

215152 江苏省苏州市相城区黄埭镇潘阳工业园安民路6号

IPC主分类号：

C01B33107

IPC分类号：

B01D5346 B01D5368 B01D5375 B01D5381

代理机构：

北京集佳知识产权代理有限公司 11227

代理人：

常亮

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2021-02-19	公开	公开
2021-03-09	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):C01B 33/107 申请日:20201119

共 50 条

[1]

一种高纯四氟化硅的合成及纯化方法 [P].

马建修 ;

王新鹏 ;

杜文东 ;

张杰 ;

崔录芳 .

中国专利 :CN110606490B ,2019-12-24

[2]

一种四氟化硅纯化系统 [P].

盛国臣 ;

龚兴荣 ;

廖华 ;

张灿 .

中国专利 :CN207294193U ,2018-05-01

[3]

一种四氟化硅的纯化系统 [P].

吴杰 ;

廖恒易 ;

曹小林 .

中国专利 :CN208856914U ,2019-05-14

[4]

用于纯化四氟化硅的方法 [P].

维塔尔·雷万卡尔 ;

贾米勒·伊布拉希姆 .

中国专利 :CN102862990A ,2013-01-09

[5]

用于纯化四氟化硅的方法 [P].

维塔尔·雷万卡尔 ;

贾米勒·伊布拉希姆 .

中国专利 :CN101918311A ,2010-12-15

[6]

一种超高纯四氟化硅的纯化方法和装置 [P].

王云飞 ;

樊文端 ;

李旭 ;

刘波涛 ;

白犇 ;

王星帅 ;

祝德康 ;

高晓良 .

中国专利 :CN117379925A ,2024-01-12

[7]

一种高纯四氟化锗的合成纯化方法及系统 [P].

曹小林 ;

杜大艳 ;

杨涛 ;

刘隆益 ;

易万里 ;

彭晓双 ;

夏炜 .

中国专利 :CN115231609B ,2024-05-10

[8]

一种6N级高纯四氟化硅自动化纯化装置及纯化方法 [P].

王云飞 ;

宋富财 ;

李海军 ;

张明杰 ;

孙秋丽 ;

鲁毅 ;

张雷 ;

李丹丹 ;

郑艺 .

中国专利 :CN111039294A ,2020-04-21

[9]

一种四氟化硅的纯化方法 [P].

蒋玉贵 ;

孟祥军 ;

李翔宇 ;

董云海 ;

乔蓓蓓 ;

沙婷 ;

杨庆平 .

中国专利 :CN105565324A ,2016-05-11

[10]

一种四氟化硅的制备及纯化方法 [P].

蒋玉贵 ;

李翔宇 ;

孟祥军 ;

张净普 ;

胡帅 ;

朱文冬 ;

张长金 .

中国专利 :CN105502410A ,2016-04-20

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