一种超高纯四氟化硅的纯化方法和装置

被引:0
专利类型
发明
申请号
CN202311104793.7
申请日
2023-08-30
公开(公告)号
CN117379925A
公开(公告)日
2024-01-12
发明(设计)人
王云飞 樊文端 李旭 刘波涛 白犇 王星帅 祝德康 高晓良
申请人
中船(邯郸)派瑞特种气体股份有限公司
申请人地址
057550 河北省邯郸市肥乡区化工工业聚集区纬五路1号(经营场所:纬五路1号、世纪大街6号)
IPC主分类号
B01D53/04
IPC分类号
C01B33/107
代理机构
石家庄新世纪专利商标事务所有限公司 13100
代理人
张杰
法律状态
公开
国省代码
河北省 邯郸市
引用
下载
收藏
共 50 条
[1]
一种高纯四氟化硅气体的纯化方法及纯化系统 [P]. 
金向华 ;
徐聪 ;
孙猛 ;
王新喜 .
中国专利 :CN112374503A ,2021-02-19
[2]
一种高纯四氟化硅的合成及纯化方法 [P]. 
马建修 ;
王新鹏 ;
杜文东 ;
张杰 ;
崔录芳 .
中国专利 :CN110606490B ,2019-12-24
[3]
一种四氟化硅的纯化系统 [P]. 
吴杰 ;
廖恒易 ;
曹小林 .
中国专利 :CN208856914U ,2019-05-14
[4]
一种四氟化硅的纯化方法 [P]. 
蒋玉贵 ;
孟祥军 ;
李翔宇 ;
董云海 ;
乔蓓蓓 ;
沙婷 ;
杨庆平 .
中国专利 :CN105565324A ,2016-05-11
[5]
高纯四氟化硅的制备方法 [P]. 
桂思祥 ;
李忠灿 ;
潘慧娟 ;
石平湘 .
中国专利 :CN101863478A ,2010-10-20
[6]
一种6N级高纯四氟化硅自动化纯化装置及纯化方法 [P]. 
王云飞 ;
宋富财 ;
李海军 ;
张明杰 ;
孙秋丽 ;
鲁毅 ;
张雷 ;
李丹丹 ;
郑艺 .
中国专利 :CN111039294A ,2020-04-21
[7]
一种高纯四氟化硅的制备方法 [P]. 
迁志军 ;
杨玉 ;
倪志强 .
中国专利 :CN119683630A ,2025-03-25
[8]
用于纯化四氟化硅的方法 [P]. 
维塔尔·雷万卡尔 ;
贾米勒·伊布拉希姆 .
中国专利 :CN102862990A ,2013-01-09
[9]
用于纯化四氟化硅的方法 [P]. 
维塔尔·雷万卡尔 ;
贾米勒·伊布拉希姆 .
中国专利 :CN101918311A ,2010-12-15
[10]
一种高纯四氟化硅的制备方法及装置 [P]. 
王云飞 ;
柳彤 ;
林坤 ;
刘海芳 ;
张净普 ;
孙秋丽 ;
李海军 ;
蒋玉虎 .
中国专利 :CN113184856B ,2021-07-30