一种高纯四氟化硅的合成及纯化方法

被引:0
专利类型
发明
申请号
CN201910536842.1
申请日
2019-06-20
公开(公告)号
CN110606490B
公开(公告)日
2019-12-24
发明(设计)人
马建修 王新鹏 杜文东 张杰 崔录芳
申请人
申请人地址
301714 天津市武清区河西务镇三纬路南侧
IPC主分类号
C01B33107
IPC分类号
代理机构
太原晋科知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 14110
代理人
任林芳
法律状态
实质审查的生效
国省代码
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共 50 条
[1]
一种高纯四氟化硅气体的纯化方法及纯化系统 [P]. 
金向华 ;
徐聪 ;
孙猛 ;
王新喜 .
中国专利 :CN112374503A ,2021-02-19
[2]
高纯四氟化硅的制备方法 [P]. 
桂思祥 ;
李忠灿 ;
潘慧娟 ;
石平湘 .
中国专利 :CN101863478A ,2010-10-20
[3]
一种高纯四氟化硅的制备方法 [P]. 
迁志军 ;
杨玉 ;
倪志强 .
中国专利 :CN119683630A ,2025-03-25
[4]
一种高纯四氟化硅的制备方法及装置 [P]. 
王云飞 ;
柳彤 ;
林坤 ;
刘海芳 ;
张净普 ;
孙秋丽 ;
李海军 ;
蒋玉虎 .
中国专利 :CN113184856B ,2021-07-30
[5]
一种超高纯四氟化硅的纯化方法和装置 [P]. 
王云飞 ;
樊文端 ;
李旭 ;
刘波涛 ;
白犇 ;
王星帅 ;
祝德康 ;
高晓良 .
中国专利 :CN117379925A ,2024-01-12
[6]
一种6N级高纯四氟化硅自动化纯化装置及纯化方法 [P]. 
王云飞 ;
宋富财 ;
李海军 ;
张明杰 ;
孙秋丽 ;
鲁毅 ;
张雷 ;
李丹丹 ;
郑艺 .
中国专利 :CN111039294A ,2020-04-21
[7]
一种四氟化硅的纯化方法 [P]. 
蒋玉贵 ;
孟祥军 ;
李翔宇 ;
董云海 ;
乔蓓蓓 ;
沙婷 ;
杨庆平 .
中国专利 :CN105565324A ,2016-05-11
[8]
一种四氟化硅的制备及纯化方法 [P]. 
蒋玉贵 ;
李翔宇 ;
孟祥军 ;
张净普 ;
胡帅 ;
朱文冬 ;
张长金 .
中国专利 :CN105502410A ,2016-04-20
[9]
用于纯化四氟化硅的方法 [P]. 
维塔尔·雷万卡尔 ;
贾米勒·伊布拉希姆 .
中国专利 :CN102862990A ,2013-01-09
[10]
用于纯化四氟化硅的方法 [P]. 
维塔尔·雷万卡尔 ;
贾米勒·伊布拉希姆 .
中国专利 :CN101918311A ,2010-12-15