一种高纯四氟化硅的制备方法

被引:0
专利类型
发明
申请号
CN202510153423.5
申请日
2025-02-12
公开(公告)号
CN119683630A
公开(公告)日
2025-03-25
发明(设计)人
迁志军 杨玉 倪志强
申请人
威斯特(东营)特种气体有限公司
申请人地址
257000 山东省东营市开发区广利港产业园嘉陵江路4号
IPC主分类号
C01B33/107
IPC分类号
代理机构
江苏盐城世拓专利代理事务所(普通合伙) 32526
代理人
刘清丽
法律状态
公开
国省代码
引用
下载
收藏
共 50 条
[1]
一种四氟化硅的制备方法 [P]. 
皇甫根利 ;
闫春生 ;
贾雪枫 ;
马小芬 .
中国专利 :CN101481113A ,2009-07-15
[2]
高纯四氟化硅的制备方法 [P]. 
桂思祥 ;
李忠灿 ;
潘慧娟 ;
石平湘 .
中国专利 :CN101863478A ,2010-10-20
[3]
一种高纯四氟化硅的制备方法及装置 [P]. 
王云飞 ;
柳彤 ;
林坤 ;
刘海芳 ;
张净普 ;
孙秋丽 ;
李海军 ;
蒋玉虎 .
中国专利 :CN113184856B ,2021-07-30
[4]
一种高纯氟化镁的制备方法 [P]. 
李世江 ;
侯红军 ;
杨华春 ;
皇甫根利 ;
闫春生 ;
贾雪枫 ;
范晓磊 .
中国专利 :CN101134585A ,2008-03-05
[5]
一种高纯四氟化硅裂解反应器 [P]. 
马建修 ;
靖宇 ;
杜文东 .
中国专利 :CN114534626A ,2022-05-27
[6]
一种高纯四氟化硅的合成及纯化方法 [P]. 
马建修 ;
王新鹏 ;
杜文东 ;
张杰 ;
崔录芳 .
中国专利 :CN110606490B ,2019-12-24
[7]
连续精馏方式制备高纯四氟化硅方法的工艺技术 [P]. 
李中元 .
中国专利 :CN101993082A ,2011-03-30
[8]
一种高纯四氟化硅气体的纯化方法及纯化系统 [P]. 
金向华 ;
徐聪 ;
孙猛 ;
王新喜 .
中国专利 :CN112374503A ,2021-02-19
[9]
一种制备高纯氟化物的方法 [P]. 
李世江 ;
朱庆山 ;
薛旭金 ;
范川林 ;
于贺华 ;
郭海涛 ;
薛峰峰 ;
刘海霞 ;
高胜军 ;
王建萍 .
中国专利 :CN112441604B ,2021-03-05
[10]
一种四氟化硅的生产方法 [P]. 
薛旭金 ;
韩建军 ;
刘海霞 ;
于贺华 ;
薛峰峰 ;
李云峰 ;
李凌云 ;
叶家铭 ;
王磊 .
中国专利 :CN111039293A ,2020-04-21