双背脊电容式MEMS差压传感器

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN201920737844.2

申请日：

2019-05-21

公开(公告)号：

CN210071211U

公开(公告)日：

2020-02-14

发明(设计)人：

闫文明

申请人：

申请人地址：

266100 山东省青岛市崂山区北宅街道投资服务中心308室

IPC主分类号：

G01L1306

IPC分类号：

G01L912

代理机构：

北京鸿元知识产权代理有限公司 11327

代理人：

袁文婷;王迎

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2020-02-14	授权	授权
2020-07-03	专利申请权、专利权的转移	专利权的转移 IPC(主分类):G01L 13/06 登记生效日:20200612 变更事项:专利权人变更前权利人:歌尔科技有限公司变更后权利人:歌尔微电子有限公司变更事项:地址变更前权利人:266100 山东省青岛市崂山区北宅街道投资服务中心308室变更后权利人:266104 山东省青岛市崂山区松岭路396号103室

共 50 条

[1]

电容式差压传感器稳形结构 [P].

杨劲松 ;

刘庆 ;

王小文 ;

朱健 ;

何炳伟 ;

金亮 .

中国专利 :CN216717486U ,2022-06-10

[2]

小型化电容式差压传感器 [P].

田泉林 .

中国专利 :CN3379108D ,2004-07-14

[3]

准差分电容式MEMS压力传感器 [P].

郑国光 .

中国专利 :CN204881958U ,2015-12-16

[4]

一种新型的电容式差压传感器 [P].

王剑凌 ;

周青辉 .

中国专利 :CN201107139Y ,2008-08-27

[5]

一种电容式压差传感器结构 [P].

张和毅 ;

张建忠 .

中国专利 :CN208579860U ,2019-03-05

[6]

电容式压差传感器及其制造方法 [P].

徐天彤 ;

李海旺 ;

曹晓达 ;

陶智 ;

翟彦欣 ;

路浩楠 ;

赵唯至 ;

李世迦 ;

张锴文 .

中国专利 :CN115901078B ,2024-05-14

[7]

双隔离电容压力差压传感器 [P].

刘庆 .

中国专利 :CN201242477Y ,2009-05-20

[8]

电容式差压传感器及泄漏检测装置 [P].

余雷 ;

陈素阳 ;

徐佳松 ;

李雷生 .

中国专利 :CN222704219U ,2025-04-01

[9]

CMOS MEMS电容式湿度传感器 [P].

薛惠琼 ;

王玮冰 ;

田龙坤 .

中国专利 :CN103675042A ,2014-03-26

[10]

差分电容式长度传感器 [P].

张华建 .

中国专利 :CN202171440U ,2012-03-21

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