基于正交双光栅的同步移相干涉显微检测装置及检测方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201210371395.7

申请日：

2012-09-29

公开(公告)号：

CN102914258A

公开(公告)日：

2013-02-06

发明(设计)人：

单明广钟志郝本功刁鸣张雅彬窦峥

申请人：

申请人地址：

150001 黑龙江省哈尔滨市南岗区南通大街145号（哈尔滨工程大学体育部）

IPC主分类号：

G01B902

IPC分类号：

G01B1106

代理机构：

哈尔滨市松花江专利商标事务所 23109

代理人：

张宏威

法律状态：

公开

国省代码：

引用

下载

收藏

法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2013-02-06	公开	公开
2013-03-20	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101413725579 IPC(主分类):G01B 9/02 专利申请号:2012103713957 申请日:20120929
2015-08-12	发明专利申请公布后的视为撤回	发明专利申请公布后的视为撤回号牌文件类型代码:1603 号牌文件序号:101719263276 IPC(主分类):G01B 9/02 专利申请号:2012103713957 申请公布日:20130206

共 50 条

[1]

基于正交双光栅的同步移相干涉检测装置及检测方法 [P].

单明广 ;

钟志 ;

郝本功 ;

窦峥 ;

张雅彬 ;

刁鸣 .

中国专利 :CN102914256A ,2013-02-06

[2]

基于正交双光栅的同步移相共光路干涉显微检测装置及检测方法 [P].

单明广 ;

钟志 ;

郝本功 ;

刁鸣 ;

张雅彬 ;

窦峥 .

中国专利 :CN102865811A ,2013-01-09

[3]

分光同步移相干涉显微检测装置及检测方法 [P].

单明广 ;

钟志 ;

郝本功 ;

张雅彬 ;

窦峥 ;

刁鸣 .

中国专利 :CN102914257A ,2013-02-06

[4]

基于正交双光栅的同步相移共光路干涉检测装置及检测方法 [P].

单明广 ;

钟志 ;

郝本功 .

中国专利 :CN102865810B ,2013-01-09

[5]

基于同步载频移相的干涉显微检测装置与检测方法 [P].

钟志 ;

单明广 ;

郝本功 ;

刁鸣 ;

窦峥 ;

张雅彬 .

中国专利 :CN102954757A ,2013-03-06

[6]

一种反射式点衍射载波同步移相干涉检测装置及检测方法 [P].

单明广 ;

钟志 ;

郝本功 ;

刁鸣 ;

张雅彬 ;

窦峥 .

中国专利 :CN103245285B ,2013-08-14

[7]

基于同步载频移相的干涉检测装置与检测方法 [P].

钟志 ;

单明广 ;

郝本功 ;

窦峥 ;

张雅彬 ;

刁鸣 .

中国专利 :CN102954758A ,2013-03-06

[8]

基于分光同步移相的干涉检测装置及检测方法 [P].

单明广 ;

钟志 ;

郝本功 ;

窦峥 ;

张雅彬 ;

刁鸣 .

中国专利 :CN102914259A ,2013-02-06

[9]

基于分光同步相移的共光路干涉检测装置及检测方法 [P].

单明广 ;

钟志 ;

郝本功 .

中国专利 :CN102840823B ,2012-12-26

[10]

一种反射式点衍射离轴同步移相干涉检测装置与检测方法 [P].

单明广 ;

钟志 ;

郝本功 ;

刁鸣 ;

张雅彬 ;

窦峥 .

中国专利 :CN103322912A ,2013-09-25

← 1 2 3 4 5 →