基于正交双光栅的同步相移共光路干涉检测装置及检测方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201210344351.5

申请日：

2012-09-18

公开(公告)号：

CN102865810B

公开(公告)日：

2013-01-09

发明(设计)人：

单明广钟志郝本功

申请人：

申请人地址：

150001 黑龙江省哈尔滨市南岗区南通大街145号（哈尔滨工程大学体育部）

IPC主分类号：

G01B902

IPC分类号：

G01B1106 G01B1124 G01B1116

代理机构：

哈尔滨市松花江专利商标事务所 23109

代理人：

牟永林

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2013-01-09	公开	公开
2014-12-03	授权	授权
2022-08-26	专利权的终止	未缴年费专利权终止 IPC(主分类):G01B 9/02 申请日:20120918 授权公告日:20141203 终止日期:20210918
2013-02-20	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101397921028 IPC(主分类):G01B 9/02 专利申请号:2012103443515 申请日:20120918

共 50 条

[1]

基于分光同步相移的共光路干涉检测装置及检测方法 [P].

单明广 ;

钟志 ;

郝本功 .

中国专利 :CN102840823B ,2012-12-26

[2]

基于正交双光栅的同步移相共光路干涉显微检测装置及检测方法 [P].

单明广 ;

钟志 ;

郝本功 ;

刁鸣 ;

张雅彬 ;

窦峥 .

中国专利 :CN102865811A ,2013-01-09

[3]

基于正交双光栅的同步移相干涉显微检测装置及检测方法 [P].

单明广 ;

钟志 ;

郝本功 ;

刁鸣 ;

张雅彬 ;

窦峥 .

中国专利 :CN102914258A ,2013-02-06

[4]

基于同步载频移相的共光路干涉检测装置与方法 [P].

钟志 ;

单明广 ;

郝本功 ;

张雅彬 ;

窦峥 ;

刁鸣 .

中国专利 :CN102954842A ,2013-03-06

[5]

基于正交双光栅的同步移相干涉检测装置及检测方法 [P].

单明广 ;

钟志 ;

郝本功 ;

窦峥 ;

张雅彬 ;

刁鸣 .

中国专利 :CN102914256A ,2013-02-06

[6]

分光同步移相共光路干涉显微检测装置及检测方法 [P].

单明广 ;

钟志 ;

郝本功 ;

张雅彬 ;

窦峥 ;

刁鸣 .

中国专利 :CN102889853B ,2013-01-23

[7]

基于同步载频移相的共光路干涉显微检测装置与方法 [P].

钟志 ;

单明广 ;

郝本功 ;

刁鸣 ;

张雅彬 ;

窦峥 .

中国专利 :CN102967258A ,2013-03-13

[8]

基于三窗口的共光路干涉检测方法与装置 [P].

单明广 ;

钟志 ;

郝本功 .

中国专利 :CN102538986A ,2012-07-04

[9]

基于分光棱镜的三窗口共光路干涉检测装置及检测方法 [P].

单明广 ;

钟志 ;

郝本功 .

中国专利 :CN102878922A ,2013-01-16

[10]

一种基于反射光栅的相移点衍射干涉检测装置及检测方法 [P].

单明广 ;

钟志 ;

白鸿一 ;

张雅彬 .

中国专利 :CN104165582A ,2014-11-26

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