弹性膜、基板保持装置及研磨装置

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201510136596.2

申请日：

2015-03-26

公开(公告)号：

CN104942704A

公开(公告)日：

2015-09-30

发明(设计)人：

福岛诚安田穗积並木计介锅谷治富樫真吾山木晓矶野慎太郎

申请人：

申请人地址：

日本国东京都大田区羽田旭町11番1号

IPC主分类号：

B24B3730

IPC分类号：

B24B3710 H01L21687

代理机构：

上海市华诚律师事务所 31210

代理人：

梅高强;刘煜

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2018-10-02	授权	授权
2017-03-22	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101708578904 IPC(主分类):B24B 37/30 专利申请号:2015101365962 申请日:20150326
2015-09-30	公开	公开

共 50 条

[1]

弹性膜、基板保持装置及研磨装置 [P].

山木晓 ;

福岛诚 ;

并木计介 ;

锅谷治 ;

富樫真吾 ;

大和田朋子 ;

加藤良和 .

中国专利 :CN109366344B ,2019-02-22

[2]

弹性膜、基板保持装置及研磨装置 [P].

福岛诚 ;

安田穂积 ;

並木计介 ;

锅谷治 ;

富樫真吾 ;

山木晓 ;

矶野慎太郎 .

中国专利 :CN109093507B ,2018-12-28

[3]

基板保持装置及弹性膜 [P].

篠崎弘行 ;

福岛诚 ;

锅谷治 .

中国专利 :CN111775043B ,2020-10-16

[4]

基板保持装置、弹性膜、研磨装置以及弹性膜的更换方法 [P].

锅谷治 ;

福岛诚 ;

并木计介 ;

富樫真吾 ;

山木晓 ;

岸本雅彦 ;

大和田朋子 .

中国专利 :CN108015668A ,2018-05-11

[5]

弹性膜及基板保持装置 [P].

程诚 ;

富樫真吾 ;

福岛诚 ;

广川一人 .

日本专利 :CN112440204B ,2025-02-28

[6]

弹性膜及基板保持装置 [P].

程诚 ;

富樫真吾 ;

福岛诚 ;

广川一人 .

中国专利 :CN112440204A ,2021-03-05

[7]

基板保持装置、基板研磨装置、弹性构件以及基板保持装置的制造方法 [P].

锅谷治 .

中国专利 :CN110509179A ,2019-11-29

[8]

弹性膜以及基板保持装置 [P].

福岛诚 ;

安田穗积 ;

锅谷治 ;

富樫真吾 .

中国专利 :CN103659579B ,2014-03-26

[9]

基板保持装置及研磨装置 [P].

安田穗积 ;

福岛诚 ;

锅谷治 ;

岸本雅彦 .

中国专利 :CN104786139A ,2015-07-22

[10]

基板保持装置、研磨装置、研磨方法及保持环 [P].

山木晓 ;

安田穗积 ;

并木计介 ;

锅谷治 ;

福岛诚 ;

富樫真吾 .

中国专利 :CN104625948B ,2015-05-20

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