共 50 条
[1]
[2]
[3]
[4]
[5]
[6]
[7]
[8]
[9]
[10]
基板保持装置、基板研磨装置、弹性构件以及基板保持装置的制造方法
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN201910420608.2
申请日：
2019-05-20
公开(公告)号：
CN110509179A
公开(公告)日：
2019-11-29
发明(设计)人：
锅谷治
申请人：
申请人地址：
日本国东京都大田区羽田旭町11番1号
IPC主分类号：
B24B3730
IPC分类号：
B24B3710
H01L2167
H01L21683
代理机构：
上海华诚知识产权代理有限公司 31300
代理人：
肖华
法律状态：
公开
国省代码：
引用
下载
收藏
法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2019-11-29 | 公开 | 公开 |
| 2021-03-02 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 IPC(主分类):B24B 37/30 申请日:20190520 |