共 50 条
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基板保持构件、基板保持装置以及基板保持方法
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN202011178132.5
申请日：
2020-10-29
公开(公告)号：
CN112750744A
公开(公告)日：
2021-05-04
发明(设计)人：
户江由也
下窄义行
小川滋之
申请人：
申请人地址：
日本新泻县
IPC主分类号：
H01L21683
IPC分类号：
H01L2167
代理机构：
中国贸促会专利商标事务所有限公司 11038
代理人：
韩卉
法律状态：
公开
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2021-05-04 | 公开 | 公开 |
| 2021-05-21 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 21/683 申请日:20201029 |